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엘에이티/특허권 취득(자율공시)/(2021.06.04)특허권 취득(자율공시)

특허권 취득(자율공시)


1. 특허명칭	스퍼터 전극체
2. 특허 주요내용	특허출원번호 : 10-2020-0020318 본 발명은 스퍼터링 장치에 적용되는 스퍼터 전극체에 관련한 것으로, 종래 쿨링판을 기존 대비 박판형으로 개선하여, 박판형 쿨링판에 외력이 작용할 때 적어도 타겟과 접촉되어 있는 부분은 변형없이 수평상태를 유지하면서 전면에 걸쳐 균등하게 가압되므로써 쿨링부와 타겟의 접촉밀도를 높일 수 있어 타겟의 냉각효과를 높일 수 있고 타겟의 균열이나 파손을 미연에 방지할 수 있습니다.
3. 특허권자	(주)엘에이티
4. 특허취득일자	2021-06-04
5. 특허 활용계획	스퍼터링 장치의 쿨링판을 박판형으로 개선하여 타겟의 냉각효과를 극대화함으로써 금속, 산화물, 질화물 등의 박막을 저손상, 고품질의 박막을 제조할 수 있으며 디스플레이, 반도체, 태양전지, 자동차 부품, MEMS, 차폐 등의 제조 설비로 적극 활용할 계획입니다.
6. 확인일자	2021-06-04
7. 기타 투자판단과 관련한 중요사항	- 특허출원번호 : 10-2020-0020318 - 상기 특허의 취득을 위한 수수료는 2021년 6월 4일에 납부 완료하였습니다. - 특허 취득일자는 특허 등록료 납부일 기준입니다.

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