Major Shareholders
| Concept | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | As at 2025-02-28 | 
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Major shareholders | ||||||||||||
| Major shareholders | ||||||||||||
| Name | 
                                                古川 保典
                                                
                                             | 
                                                KLA-TENCOR(SINGAPORE)PTE,LTD
                                                
                                             | 
                                                株式会社ニコン
                                                
                                             | 
                                                レーザーテック株式会社
                                                
                                             | 
                                                NTTファイナンス株式会社
                                                
                                             | 
                                                株式会社島津製作所
                                                
                                             | 
                                                エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
                                                
                                             | 
                                                株式会社山梨中央銀行
                                                
                                             | — | 
                                                株式会社内藤ハウス
                                                
                                             | 
                                                ケーエルエー・テンコール株式会社
                                                
                                             | 
                                                KT VENTURE GROUP Ⅱ,L.L.C.
                                                
                                             | 
| Address | 
                                                東京都港区
                                                
                                             | 
                                                NO.4 SERANGOON NORTH AVE 5 SINGAPORE 554532
                                                
                                             | 
                                                東京都品川区西大井1丁目5番20号
                                                
                                             | 
                                                神奈川県横浜市港北区新横浜二丁目10番1
                                                
                                             | 
                                                東京都港区港南一丁目2番70号
                                                
                                             | 
                                                京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地
                                                
                                             | 
                                                東京都新宿区西新宿三丁目20番2号 東京オペラシティタワー
                                                
                                             | 
                                                山梨県甲府市丸の内一丁目20番8号
                                                
                                             | — | 
                                                山梨県韮崎市円野町上円井3139
                                                
                                             | 
                                                横浜市西区みなとみらい三丁目7番1号 OCEAN GATE MINATO MIRAI
                                                
                                             | 
                                                ONE TECHNOLOGY DRIVE,MILPITAS,CALIFORNIA 95035 U.S.A
                                                
                                             | 
| Number of shares held | 
                                                854,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                410,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                250,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                250,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                500,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                200,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                670,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                200,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                4,735,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                200,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                950,000
                                                
                                                    
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                                             | 
                                                251,000
                                                
                                                    
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                                             | 
| Shareholding ratio (excluding treasury shares) | 
                                                0.0761
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0365
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0222
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0222
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0445
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0178
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0596
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0178
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.4217
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0178
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0846
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             | 
                                                0.0223
                                                
                                                    
                                                        xbrli:pure
                                                    
                                                
                                             |