TESCO.,LTD. - Regulatory Filings 2020

테스/기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)/(2020.02.06)기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)(기판처리장치)

기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)


1. 특허명칭	기판처리장치
2. 특허 주요내용	본 특허는 디스플레이용 대면적 기판에 대해 박막처리공정을 수행하는 기판처리장치에 관한 것임. 본 특허에 따르면, 접지 스트랩의 하부 연결부가 서셉터의 직하부에서 벗어나서 서셉터의 가장자리와 챔버 내벽 사이의 베이스에 연결되므로, 상기 접지 스트랩을 서셉터의 하면 및 베이스의 상면에 연결시키는 작업을 보다 쉽고 용이하게 수행할 수 있음.
3. 특허권자	(주)테스
4. 특허취득일자	2020-02-06
5. 특허 활용계획	장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화
6. 확인일자	2020-02-06
7. 기타 투자판단에 참고할 사항	1.출원번호(국내) :10-2018-0169095 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임.

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