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CIRCUIT FABOLOGY MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. — Capital/Financing Update 2025
Apr 23, 2025
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Capital/Financing Update
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国泰海通证券股份有限公司
关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2024 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
国泰海通证券股份有限公司(以下简称"国泰海通"或"保荐机构")作为 合肥芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称"芯碁微装"或"公司")的持续 督导机构,根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号 ——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上 市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》 等相关规定,对芯碁微装 2024 年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查, 具体情况如下:
一、募集资金基本情况
(一)实际募集资金金额、资金到位时间
根据中国证券监督管理委员会于 2023 年 3 月 15 日出具的《关于同意合肥芯 碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》(证监许可〔2023〕 563 号),同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行人民币 普通股(A 股)10,497,245 股,每股发行价格为人民币 75.99 元,募集资金总额 为 79,768.56 万元,扣除各项发行费用 832.27 万元,实际募集资金净额为 78,936.29 万元。由于存在尚未支付的发行费用,公司实际收到募集资金金额为 78,970.88 万元。上述募集资金到位情况经容诚会计师事务所(特殊普通合伙)验证,并出 具了容诚验字[2023]230Z0198 号《验资报告》。
(二)募集资金以前年度使用金额
截至 2023 年 12 月 31 日,公司累计已使用募集资金人民币 7,628.63 万元, 利息收入及理财收益 111.49 万元,手续费用 0.26 万元,剩余募集资金余额人民 币 71,416.12 万元。
(三)募集资金本年度使用金额及年末余额
2024 年,公司已使用募集资金 30,192.77 万元。截至 2024 年 12 月 31 日, 公司累计已使用募集资金投入项目 37,821.40 万元,尚未使用募集资金余额人民 币 41,114.89 万元。截至 2024 年 12 月 31 日,募集资金使用情况如下:
单位:人民币万元
| 项目 | 金额 |
|---|---|
| 募集资金净额 | 78,936.29 |
| 经批准置换先期投入金额 | - |
| 以前年度投入金额 | 7,628.63 |
| 本年度投入金额 | 30,192.77 |
| 累计使用募集资金金额 | 37,821.40 |
| 尚未使用金额 | 41,114.89 |
| 减:闲置募集资金临时补充流动资金 | - |
| 减:购买理财产品未到期的 | 39,000.01 |
| 累计利息收入、理财收益及手续费净额 | 977.57 |
| 减:其他转出 | - |
| 截至年月日募集资金专户余额20241231 | 3,092.45 |
二、募集资金管理情况
(一)募集资金的管理情况
根据有关法律法规及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规 范运作》的规定,遵循规范、安全、高效、透明的原则,公司制定了《募集资金 管理办法》,对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定, 以在制度上保证募集资金的规范使用。
根据管理制度并结合经营需要,经公司股东大会授权,公司于 2023 年 7 月 6 日召开第二届董事会第八次会议,审议通过了《关于公司设立 2022 年度向特 定对象发行 A 股股票募集资金专用账户的议案》。公司对 2022 年度向特定对象 发行股票的募集资金实行专户存储,在银行设立募集资金使用专户,并与开户银 行、保荐机构签订了《募集资金三方监管协议》,对募集资金的使用实施严格审 批,以保证专款专用。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管 协议(范本)》不存在重大差异。截至 2024 年 12 月 31 日,公司均严格按照该《募
集资金监管协议》的规定,存放和使用募集资金。
(二)募集资金专户存储情况
截至 2024 年 12 月 31 日,募集资金具体存放情况如下:
单位:人民币元
| 开户银行 | 银行账号 | 账户类别 | 募集资金余额 | |
|---|---|---|---|---|
| 招商银行合肥分行营业部 | 551906776410802 | 活期余额 | 4,729,678.42 | |
| 徽商银行股份有限公司安徽自贸试验区合肥片区支行 | 522001541721000002 | 活期余额 | 2,854,719.81 | |
| 中信银行股份有限公司合肥分行营业部 | 8112301012100947766 | 活期余额 | 693,880.91 | |
| 中国光大银行合肥长江西路支行 | 76670180803908811 | 活期余额 | 22,646,192.50 | |
| 合计 | 30,924,471.64 |
三、本年度募集资金实际使用情况
(一)募集资金投资项目(以下简称**"募投项目"**)的资金使用情况
募集资金实际使用情况详见附表 1《2024 年度募集资金使用情况对照表 (2022 年度向特定对象发行股票募集资金)》。
(二)募投项目先期投入及置换情况
本年度,公司不存在募投项目先期投入及置换的情况。
(三)用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
本年度,公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
(四)对闲置募集资金进行现金管理,投资相关产品情况
2024 年 4 月 23 日公司召开了第二届董事会第十五次会议和第二届监事会第 十三次会议,2024 年 5 月 14 日公司召开了 2023 年年度股东大会,审议通过了 《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》,同意公司在确 保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排,不变相改变募集资金用途 且不影响公司正常业务开展的情况下,使用不超过人民币 65,000 万元(含本数) 的暂时闲置募集资金进行现金管理,用于购买安全性高、流动性好,有保本约定 的投资产品(包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭
证等)。在上述额度范围内,资金可以滚动使用,使用期限不超过股东大会审议 通过之日起 12 个月。
截至 2024 年 12 月 31 日,公司对募集资金进行现金管理情况详见下表:
| 序号 | 受托方 | 产品类型 | 批准投资金额 | 实际投入金额 | 投资期限 | 期末余额 | 利息金额 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 光大银行 | 保本理财 | 10,000,000.00 | 10,000,000.00 | 2024.1.1-2024.1.31 | - | 20,416.67 |
| 2 | 光大银行 | 大额存单 | 70,000,000.00 | 70,000,000.00 | 2024.3.29-2027.3.29 | 10,000,000.00 | 977,166.67 |
| 3 | 海通证券 | 保本理财 | 90,000,000.00 | 90,000,000.00 | 2023.8.31/2023.9.1-2024.3.1 | - | 448,767.00 |
| 4 | 徽商银行 | 大额存单 | 50,000,000.00 | 50,000,000.00 | 2023.8.28-2026.8.28 | 30,000,000.00 | 392,600.00 |
| 5 | 徽商银行 | 大额存单 | 100,000,000.00 | 100,000,000.00 | 2023.8.29-2026.8.29 | 70,000,000.00 | 928,200.00 |
| 6 | 徽商银行 | 天通知7存款 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 到2023.8.28-期 | - | 167,055.56 |
| 7 | 民生银行 | 大额存单 | 40,000,000.00 | 40,000,000.00 | 2024.5.20-2027.5.20 | 30,000,000.00 | 134,166.67 |
| 8 | 南洋银行 | 大额存单及利息 | 250,000,000.00 | 250,000,000.00 | 2023.8.29-2026.8.29 | 110,000,129.62 | 2,905,614.29 |
| 9 | 兴业银行 | 大额存单 | 150,000,000.00 | 150,000,000.00 | 2023.8.29-2026.8.29 | 120,000,000.00 | 893,479.46 |
| 10 | 招商银行 | 保本理财 | 60,000,000.00 | 60,000,000.00 | 2024.3.27-2024.4.29 | - | 137,786.30 |
| 11 | 招商银行 | 天通知7存款 | 60,000,000.00 | 60,000,000.00 | 无2024.4.30-期限 | - | 40,500.00 |
| 12 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2023.11.16-2024.11.12 | - | 320,547.95 |
| 13 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2024.3.14-2025.3.11 | - | 63,287.67 |
| 14 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2024.3.11-2024.4.15 | - | 44,109.59 |
| 15 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2024.4.17-2024.10.15 | - | 92,219.18 |
| 16 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2024.4.18-2024.10.15 | - | 108,493.15 |
| 17 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2024.5.27-2025.5.27 | - | 124,493.15 |
| 18 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 2024.5.30-2025.5.27 | - | 173,123.29 |
| 序号 | 受托方 | 产品类型 | 批准投资金额 | 实际投入金额 | 投资期限 | 期末余额 | 利息金额 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2024.8.7-2025 | 278,575.34 | |||||||
| 19 | 申万证券 | 保本理财 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | .8.5 | - | ||
| 申万证券 | 保本理财 | 2024.8.29-202 | 103,013.70 | |||||
| 20 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 5.8.26 | - | ||||
| 申万证券 | 保本理财 | 2024.10.17-20 | ||||||
| 21 | 20,000,000.00 | 20,000,000.00 | 25.10.14 | 20,000,000.00 | - | |||
| 合计 | 1,100,000,000.00 | 1,100,000,000.00 | 390,000,129.62 | 8,353,615.64 |
(五)用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
2024 年度,公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情 况。
(六)超募资金用于在建项目及新项目(包括收购资产等)的情况
2024 年度,公司不存在超募资金用于在建项目及新项目(包括收购资产等) 的情况。
(七)节余募集资金使用情况
因募投项目实施尚未完毕,2024 年度公司不存在将募投项目节余资金用于 其他募投项目或非募投项目的情况。
(八)募集资金使用的其他情况
2024 年度,公司不存在募集资金使用的其他情况。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
2024 年度,公司不存在变更募集资金投资项目的情况,不存在募集资金投 资项目对外转让或置换的情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施
2024 年度,公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集 资金,并及时、真实、准确、完整地披露了募集资金的相关信息,不存在募集资 金管理违规情形。
六、保荐机构的核查意见
经核查,保荐机构认为,公司 2024 年度募集资金存放和使用情况符合《证 券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资 金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交 易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》《合肥芯碁微电子装备 股份有限公司募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定,对募集资金进 行了专户存储和专项使用,并及时履行了相关信息披露义务,不存在变相改变募 集资金用途和损害股东利益的情形,不存在违规使用募集资金的情形,公司募集 资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
综上,保荐机构对公司 2024 年度募集资金存放和使用情况无异议。
(以下无正文)
(本页无正文,为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有 限公司 2024 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签章页)
保荐代表人: 林剑辉 周磊

附表 1:2024 年度募集资金使用情况对照表(2022 年度向特定对象发行股票募集资金)
编制单位:合肥芯碁微电子装备股份有限公司
单位:人民币万元
| 募集资金总额 | 78,936.29 | 本年度投入募集资金总额 | 30,192.77 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 变更用途的募集资金总额 | 不适用 | ||||||||||||
| 变更用途的募集资金总额比例 | 不适用 | 已累计投入募集资金总额 | 37,821.40 | ||||||||||
| 承诺投资项目 | 是否已变更项目(含部分变更) | 募集资金承诺投资总额 | 调整后投资总额 | 截至期末承诺投入金额(1) | 本年度投入金额 | 截至期末累计投入金额(2) | 截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额(3)=(2)-(1) | 截至期末投入进度(%)(4)=(2)/(1) | 项目达到预定可使用状态日期 | 本年度实现的效益 | 是否达到预计效益 | 项目可行性是否发生重大变化 | |
| 直写光刻设备产业应用深化拓展项目 | 无 | 26,598.00 | 25,765.73 | 25,765.73 | 9,411.80 | 11,604.91 | -14,160.82 | 45.04% | 年2026月7 | 已完成现代化直写光刻设备生产车间及配套设施的建设与施工;NEX系列机型多台出货,首台应用于载板防焊机型IC完成客户端NEX30T验证;G8.5打码曝边机客户端验证中 | 不适用 | 否 | |
| 载板、IC类载板直写光刻设备产业化项目 | 无 | 17,583.75 | 17,583.75 | 17,583.75 | 7,031.29 | 7,468.83 | -10,114.92 | 42.48% | 年2026月7 | 已完成直写光刻设备生产车间及配套设施的建设与施工;MAS6等应用于载板领IC域的直写光刻设备多台出货,、MAS12 | 不适用 | 否 |
| 等应用于类MAS15载板领域的直写光刻 | ||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 关键子系统、核心零部件自主研发项目 | 无 | 15,172.00 | 15,172.00 | 15,172.00 | 4,339.34 | 8,304.89 | -6,867.11 | 54.74% | 年2026月7 | 设备完成多台验收各子系统、核心词零部件自主研发项目均正常推进,基于深度学习算法的智能化直写光刻系统开发已基本完成,并在客户端试运行;超大幅面高解析度曝光引擎研发项目已基本完成,实现超大幅面下高解析高速曝光;高精度动态环控系统第二阶段正常进行中;先进激光光源研发项目已达预期,出货多台整机 | 不适用 | 否 | ||
| 补充流动资金项目 | 无 | 20,414.81 | 20,414.81 | 20,414.81 | 9,410.34 | 10,442.77 | -9,972.04 | 51.15% | 年2026月7 | 不适用 | 不适用 | 否 | ||
| 合计 | 79,768.56 | 78,936.29 | 78,936.29 | 30,192.77 | 37,821.40 | -41,114.89 | ||||||||
| 未达到计划进度原因(分具体募投项目) | 不适用 | |||||||||||||
| 项目可行性发生重大变化的情况说明 | 不适用 | |||||||||||||
| 募集资金投资项目先期投入及置换情况 | 不适用 | |||||||||||||
| 用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 | 不适用 | |||||||||||||
| 对闲置募集资金进行现金管理,投资相关产品情况 | 截至 | 年月日,公司进行现金管理的募集资金余额为万元。详见本核查意见"三、本年度2024123139,000.01募集资金实际使用情况"之"(四)对闲置募集资金进行现金管理,投资相关产品情况"。 | ||||||||||||
| 用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 | 不适用 | |||||||||||||
| 募集资金结余的金额及形成原因 | 不适用 |
| 募集资金其他使用情况 | 不适用 |
|---|