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CIRCUIT FABOLOGY MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. Capital/Financing Update 2025

Apr 23, 2025

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Capital/Financing Update

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国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2024 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司(以下简称"国泰海通"或"保荐机构")作为 合肥芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称"芯碁微装"或"公司")的持续 督导机构,根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号 ——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上 市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》 等相关规定,对芯碁微装 2024 年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查, 具体情况如下:

一、募集资金基本情况

(一)实际募集资金金额、资金到位时间

根据中国证券监督管理委员会于 2023 年 3 月 15 日出具的《关于同意合肥芯 碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》(证监许可〔2023〕 563 号),同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行人民币 普通股(A 股)10,497,245 股,每股发行价格为人民币 75.99 元,募集资金总额 为 79,768.56 万元,扣除各项发行费用 832.27 万元,实际募集资金净额为 78,936.29 万元。由于存在尚未支付的发行费用,公司实际收到募集资金金额为 78,970.88 万元。上述募集资金到位情况经容诚会计师事务所(特殊普通合伙)验证,并出 具了容诚验字[2023]230Z0198 号《验资报告》。

(二)募集资金以前年度使用金额

截至 2023 年 12 月 31 日,公司累计已使用募集资金人民币 7,628.63 万元, 利息收入及理财收益 111.49 万元,手续费用 0.26 万元,剩余募集资金余额人民 币 71,416.12 万元。

(三)募集资金本年度使用金额及年末余额

2024 年,公司已使用募集资金 30,192.77 万元。截至 2024 年 12 月 31 日, 公司累计已使用募集资金投入项目 37,821.40 万元,尚未使用募集资金余额人民 币 41,114.89 万元。截至 2024 年 12 月 31 日,募集资金使用情况如下:

单位:人民币万元

项目 金额
募集资金净额 78,936.29
经批准置换先期投入金额 -
以前年度投入金额 7,628.63
本年度投入金额 30,192.77
累计使用募集资金金额 37,821.40
尚未使用金额 41,114.89
减:闲置募集资金临时补充流动资金 -
减:购买理财产品未到期的 39,000.01
累计利息收入、理财收益及手续费净额 977.57
减:其他转出 -
截至年月日募集资金专户余额20241231 3,092.45

二、募集资金管理情况

(一)募集资金的管理情况

根据有关法律法规及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规 范运作》的规定,遵循规范、安全、高效、透明的原则,公司制定了《募集资金 管理办法》,对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定, 以在制度上保证募集资金的规范使用。

根据管理制度并结合经营需要,经公司股东大会授权,公司于 2023 年 7 月 6 日召开第二届董事会第八次会议,审议通过了《关于公司设立 2022 年度向特 定对象发行 A 股股票募集资金专用账户的议案》。公司对 2022 年度向特定对象 发行股票的募集资金实行专户存储,在银行设立募集资金使用专户,并与开户银 行、保荐机构签订了《募集资金三方监管协议》,对募集资金的使用实施严格审 批,以保证专款专用。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管 协议(范本)》不存在重大差异。截至 2024 年 12 月 31 日,公司均严格按照该《募

集资金监管协议》的规定,存放和使用募集资金。

(二)募集资金专户存储情况

截至 2024 年 12 月 31 日,募集资金具体存放情况如下:

单位:人民币元

开户银行 银行账号 账户类别 募集资金余额
招商银行合肥分行营业部 551906776410802 活期余额 4,729,678.42
徽商银行股份有限公司安徽自贸试验区合肥片区支行 522001541721000002 活期余额 2,854,719.81
中信银行股份有限公司合肥分行营业部 8112301012100947766 活期余额 693,880.91
中国光大银行合肥长江西路支行 76670180803908811 活期余额 22,646,192.50
合计 30,924,471.64

三、本年度募集资金实际使用情况

(一)募集资金投资项目(以下简称**"募投项目"**)的资金使用情况

募集资金实际使用情况详见附表 1《2024 年度募集资金使用情况对照表 (2022 年度向特定对象发行股票募集资金)》。

(二)募投项目先期投入及置换情况

本年度,公司不存在募投项目先期投入及置换的情况。

(三)用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

本年度,公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

(四)对闲置募集资金进行现金管理,投资相关产品情况

2024 年 4 月 23 日公司召开了第二届董事会第十五次会议和第二届监事会第 十三次会议,2024 年 5 月 14 日公司召开了 2023 年年度股东大会,审议通过了 《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》,同意公司在确 保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排,不变相改变募集资金用途 且不影响公司正常业务开展的情况下,使用不超过人民币 65,000 万元(含本数) 的暂时闲置募集资金进行现金管理,用于购买安全性高、流动性好,有保本约定 的投资产品(包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭

证等)。在上述额度范围内,资金可以滚动使用,使用期限不超过股东大会审议 通过之日起 12 个月。

截至 2024 年 12 月 31 日,公司对募集资金进行现金管理情况详见下表:

序号 受托方 产品类型 批准投资金额 实际投入金额 投资期限 期末余额 利息金额
1 光大银行 保本理财 10,000,000.00 10,000,000.00 2024.1.1-2024.1.31 - 20,416.67
2 光大银行 大额存单 70,000,000.00 70,000,000.00 2024.3.29-2027.3.29 10,000,000.00 977,166.67
3 海通证券 保本理财 90,000,000.00 90,000,000.00 2023.8.31/2023.9.1-2024.3.1 - 448,767.00
4 徽商银行 大额存单 50,000,000.00 50,000,000.00 2023.8.28-2026.8.28 30,000,000.00 392,600.00
5 徽商银行 大额存单 100,000,000.00 100,000,000.00 2023.8.29-2026.8.29 70,000,000.00 928,200.00
6 徽商银行 天通知7存款 20,000,000.00 20,000,000.00 到2023.8.28-期 - 167,055.56
7 民生银行 大额存单 40,000,000.00 40,000,000.00 2024.5.20-2027.5.20 30,000,000.00 134,166.67
8 南洋银行 大额存单及利息 250,000,000.00 250,000,000.00 2023.8.29-2026.8.29 110,000,129.62 2,905,614.29
9 兴业银行 大额存单 150,000,000.00 150,000,000.00 2023.8.29-2026.8.29 120,000,000.00 893,479.46
10 招商银行 保本理财 60,000,000.00 60,000,000.00 2024.3.27-2024.4.29 - 137,786.30
11 招商银行 天通知7存款 60,000,000.00 60,000,000.00 无2024.4.30-期限 - 40,500.00
12 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2023.11.16-2024.11.12 - 320,547.95
13 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2024.3.14-2025.3.11 - 63,287.67
14 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2024.3.11-2024.4.15 - 44,109.59
15 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2024.4.17-2024.10.15 - 92,219.18
16 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2024.4.18-2024.10.15 - 108,493.15
17 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2024.5.27-2025.5.27 - 124,493.15
18 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 2024.5.30-2025.5.27 - 173,123.29
序号 受托方 产品类型 批准投资金额 实际投入金额 投资期限 期末余额 利息金额
2024.8.7-2025 278,575.34
19 申万证券 保本理财 20,000,000.00 20,000,000.00 .8.5 -
申万证券 保本理财 2024.8.29-202 103,013.70
20 20,000,000.00 20,000,000.00 5.8.26 -
申万证券 保本理财 2024.10.17-20
21 20,000,000.00 20,000,000.00 25.10.14 20,000,000.00 -
合计 1,100,000,000.00 1,100,000,000.00 390,000,129.62 8,353,615.64

(五)用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

2024 年度,公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情 况。

(六)超募资金用于在建项目及新项目(包括收购资产等)的情况

2024 年度,公司不存在超募资金用于在建项目及新项目(包括收购资产等) 的情况。

(七)节余募集资金使用情况

因募投项目实施尚未完毕,2024 年度公司不存在将募投项目节余资金用于 其他募投项目或非募投项目的情况。

(八)募集资金使用的其他情况

2024 年度,公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

2024 年度,公司不存在变更募集资金投资项目的情况,不存在募集资金投 资项目对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施

2024 年度,公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集 资金,并及时、真实、准确、完整地披露了募集资金的相关信息,不存在募集资 金管理违规情形。

六、保荐机构的核查意见

经核查,保荐机构认为,公司 2024 年度募集资金存放和使用情况符合《证 券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资 金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交 易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》《合肥芯碁微电子装备 股份有限公司募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定,对募集资金进 行了专户存储和专项使用,并及时履行了相关信息披露义务,不存在变相改变募 集资金用途和损害股东利益的情形,不存在违规使用募集资金的情形,公司募集 资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上,保荐机构对公司 2024 年度募集资金存放和使用情况无异议。

(以下无正文)

(本页无正文,为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有 限公司 2024 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签章页)

保荐代表人: 林剑辉 周磊

附表 1:2024 年度募集资金使用情况对照表(2022 年度向特定对象发行股票募集资金)

编制单位:合肥芯碁微电子装备股份有限公司

单位:人民币万元

募集资金总额 78,936.29 本年度投入募集资金总额 30,192.77
变更用途的募集资金总额 不适用
变更用途的募集资金总额比例 不适用 已累计投入募集资金总额 37,821.40
承诺投资项目 是否已变更项目(含部分变更) 募集资金承诺投资总额 调整后投资总额 截至期末承诺投入金额(1) 本年度投入金额 截至期末累计投入金额(2) 截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额(3)=(2)-(1) 截至期末投入进度(%)(4)=(2)/(1) 项目达到预定可使用状态日期 本年度实现的效益 是否达到预计效益 项目可行性是否发生重大变化
直写光刻设备产业应用深化拓展项目 26,598.00 25,765.73 25,765.73 9,411.80 11,604.91 -14,160.82 45.04% 年2026月7 已完成现代化直写光刻设备生产车间及配套设施的建设与施工;NEX系列机型多台出货,首台应用于载板防焊机型IC完成客户端NEX30T验证;G8.5打码曝边机客户端验证中 不适用
载板、IC类载板直写光刻设备产业化项目 17,583.75 17,583.75 17,583.75 7,031.29 7,468.83 -10,114.92 42.48% 年2026月7 已完成直写光刻设备生产车间及配套设施的建设与施工;MAS6等应用于载板领IC域的直写光刻设备多台出货,、MAS12 不适用
等应用于类MAS15载板领域的直写光刻
关键子系统、核心零部件自主研发项目 15,172.00 15,172.00 15,172.00 4,339.34 8,304.89 -6,867.11 54.74% 年2026月7 设备完成多台验收各子系统、核心词零部件自主研发项目均正常推进,基于深度学习算法的智能化直写光刻系统开发已基本完成,并在客户端试运行;超大幅面高解析度曝光引擎研发项目已基本完成,实现超大幅面下高解析高速曝光;高精度动态环控系统第二阶段正常进行中;先进激光光源研发项目已达预期,出货多台整机 不适用
补充流动资金项目 20,414.81 20,414.81 20,414.81 9,410.34 10,442.77 -9,972.04 51.15% 年2026月7 不适用 不适用
合计 79,768.56 78,936.29 78,936.29 30,192.77 37,821.40 -41,114.89
未达到计划进度原因(分具体募投项目) 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
募集资金投资项目先期投入及置换情况 不适用
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
对闲置募集资金进行现金管理,投资相关产品情况 截至 年月日,公司进行现金管理的募集资金余额为万元。详见本核查意见"三、本年度2024123139,000.01募集资金实际使用情况"之"(四)对闲置募集资金进行现金管理,投资相关产品情况"。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因 不适用
募集资金其他使用情况 不适用