CIRCUIT FABOLOGY MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. — Board/Management Information 2021

Apr 8, 2021

合肥芯碁微电子装备股份有限公司独立董事关于公司

第一届董事会第十次会议相关事项的独立意见

根据《中华人民共和国公司法》(以下简称"《公司法》")、《中华人民共和 国证券法》、《上海证券交易所股票科创板上市规则》和《合肥芯碁微电子装备 股份有限公司章程》(以下简称"《公司章程》")的有关规定,作为合肥芯碁微 电子装备股份有限公司独立董事, 现就公司第一届董事会第十次会议审议的相 关事项发表如下独立意见:

一、《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》的独立 意见

公司独立董事认为,公司本次实际募集资金净额为 416,358,195.95 元, 少于 拟投入的募集资金金额 47,341.00 万元, 根据实际募集资金净额, 公司董事会决 定调整首次公开发行股票募集资金投资项目的募集资金投入金额,该调整事项 履行了必要的程序。符合《上市公司监管指引第 2 号一上市公司募集资金管理 和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第 1号一一规范运作》以及公司募集资金管理制度等有关规定,不存在变相改变募 集资金用途和损害投资者利益的情形。因此同意调整公司募投项目金额。

(下接签字页, 以下无正文)

(本页无正文,为合肥芯碁微电子装备股份有限公司独立董事关于公司第一届董 事会第十次会议相关事项的独立意见之签字页)

独立董事签字:

张国铭(签字): 《李)视乱

(本页无正文,为合肥芯碁微电子装备股份有限公司独立董事关于公司第一届董 事会第十次会议相关事项的独立意见之签字页)

独立董事签字:

胡刘芬(签字):

确认为

(本页无正文,为合肥芯碁微电子装备股份有限公司独立董事关于公司第一届董 事会第十次会议相关事项的独立意见之签字页)

独立董事签字:

杨维生(签字): 下云小七

$\label{eq:2.1} \begin{split} \mathcal{P} & = \frac{1}{2} \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2} \mathcal{P} \right) \mathcal{P} \left( \frac{1}{2}$