CIRCUIT FABOLOGY MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. — Audit Report / Information 2021

Jun 16, 2021

海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 使用募集资金置换预先已投入募投项目及预先支付发行费用自筹资 金的核查意见

海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为合肥芯碁 微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发行股票并 在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》、 《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上 海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理 办法》、《科创板上市公司持续监管办法（试行）》、《上海证券交易所上市公 司持续督导工作指引》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指 引第 1 号——规范运作》等有关规定，对公司使用募集资金置换预先已投入募投 项目及预先支付发行费用自筹资金的事项进行了核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

公司首次公开发行股票并在科创板上市的注册申请于 2021 年 2 月 1 日经中 国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（证监许可〔2021〕 350 号《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批 复》）。公司向社会公众公开发行人民币普通股（A 股）股票 3,020.2448 万股， 每股面值 1 元，发行价格为每股人民币 15.23 元，本次发行募集资金总额 459,983,283.04 元；扣除发行费用后，募集资金净额为 416,358,195.95 元。

容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次公开发行新股的资金到位情 况进行了审验，并于 2021 年 3 月 30 日出具了容诚验字[2021]230Z0034 号《验资 报告》，审验结果如下：截至 2021 年 3 月 29 日止，芯碁微装实际已发行人民币 普通股 3,020.2448 万股，募集资金总额为人民币 459,983,283.04 元，扣除各项发 行费用人民币 43,625,087.09 元，实际募集资金净额为人民币 416,358,195.95 元。 其中新增注册资本为人民币 30,202,448.00 元，资本公积为人民币 386,155,747.95 元。

二、募集资金投资项目情况

按照公司《首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》披露的募集资金

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投资项目及募集资金使用计划，以及根据实际募集资金的情况对募投项目使用募 集资金的投资金额进行了调整，调整后的募集资金使用计划如下：

单位：万元

				单位：万元
序号	项目名称	项目投资总额	调整前拟投入募集资金金额	调整后拟投入募集资金金额
1	高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目	20,770.00	20,770.00	20,770.00
2	晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目	9,380.00	9,380.00	5,880.00
3	平板显示（FPD）光刻设备研发项目	10,836.00	10,836.00	8,630.82
4	微纳制造技术研发中心建设项目	6,355.00	6,355.00	6,355.00
合计		47,341.00	47,341.00	41,635.82

本次募集资金到位前，公司将根据上述募投项目的实际进度需要，以自筹资 金先行投入，待募集资金到位后予以置换。

三、自筹资金预先投入募投项目的情况

截至 2021 年 3 月 29 日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际 投资额为人民币 58,213,358.72 元。本次拟使用募集资金置换金额为人民币 58,213,358.72 元。具体情况如下：

单位：万元

截至2021年3月29日公司以自筹资	截至2021年3月29日公司以自筹资	截至2021年3月29日公司以自筹资	截至2021年3月29日公司以自筹资	金预先投入募集资金投资项目的实	金预先投入募集资金投资项目的实	金预先投入募集资金投资项目的实	金预先投入募集资金投资项目的实
		，
投资额为人		民币58,213,358.72 元。本次		拟使用募集资金置换金额为人民
58,213,358.7		2元。具体情况如下：
				单位：万
序号		项目名称	调整金	后募集资使用规模	预先使用自筹资金投资金额	拟置换金	额
	高端PC	B激光直接成像（LDI）设备					85
1		升级迭代项目		20,770.00	2,941.85	2,941.
							92
2	晶圆级封	装（WLP）直写光刻设备产业化项目		5,880.00	437.92	437.
3	平板显	（FPD）光刻设备研发项目		863082	214677	2146	77
				,.	,.	,.
4	微纳制	造技术研发中心建设项目		6,355.00	294.80	294.	80
		合计		41,635.82	5,821.34	5,821.	34

上述预先投入募投项目的自筹资金事项由容诚会计师事务所（特殊普通合 伙）出具了《关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资 金投资项目及支付发行费用的鉴证报告》（容诚专字[2021]230Z1922 号）。

四、自筹资金预先支付发行费用情况

在募集资金到位前，公司以自筹资金预先支付发行费用金额为 635,660.38 元（不含增值税），本次拟使用募集资金置换金额为人民币 635,660.38 元，具体

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情况如下：

单位：元

			单位：元
序号	项目名称	自筹金额预先支付	拟置换金额
1	律师费	424,528.30	424,528.30
2	公证费及摇号费	92,452.83	92,452.83
3	登记托管费及年费	118,679.25	118,679.25
合计		635,660.38	635,660.38

上述以自筹资金预先支付发行费用的情况由容诚会计师事务所（特殊普通合 伙）出具了《关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资 金投资项目及支付发行费用的鉴证报告》（容诚专字[2021]230Z1922 号）。

五、公司履行的审批程序及专项意见

公司于 2021 年 6 月 15 日召开了第一届董事会第十二次会议和第一届监事会 第八次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议 案》，公司独立董事亦发表了明确的同意意见。

（一）独立董事意见

独立董事认为：公司本次使用募集资金置换预先投入的自筹资金事项，置换 时间距离募集资金到账时间未超过 6 个月，且履行了必要的程序。符合《上市公 司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券 交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第 1 号——规范运作》以及公司 《募集资金管理制度》等有关规定。本次募集资金置换行为未与募投项目的实施 计划相抵触，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形。同意公司使 用募集资金人民币 58,849,019.1 元置换预先投入的募投项目及已支付发行费用的 自筹资金。

（二）监事会意见

监事会认为：公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费 用的自筹资金事项，符合公司及全体股东利益。符合《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上 市公司自律监管规则适用指引第 1 号——规范运作》以及公司募集资金管理制度 等有关规定。本次募集资金置换行为未与募投项目的实施计划相抵触，不影响募

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集资金投资项目的正常实施，不存在变相改变募集资金用途及损害股东利益的情 形。监事会同意公司使用募集资金人民币 58,849,019.1 元置换预先投入的自筹资 金。

（三）会计师事务所鉴证意见

根据容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《关于合肥芯碁微电子装备 股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的鉴证报 告》（容诚专字[2021]230Z1922 号）。会计师事务所认为：芯碁微装《关于以自 筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》在所有重大方面 按照《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》 （证监会公告[2012]44 号）及上海证券交易所发布的《上海证券交易所上市公司 募集资金管理办法（2013 年修订）》的规定编制，公允反映了芯碁微装以自筹 资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。

六、保荐机构的核査意见

经核查，保荐机构认为，公司本次使用募集资金置换预先已投入募投项目及 预先支付发行费用自筹资金的事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事 发表了明确同意意见，并由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具了鉴证报告， 履行了必要的审批程序。公司本次使用募集资金置换预先已投入募投项目及预先 支付发行费用自筹资金的事项，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的 情况，不会影响募集资金投资项目的正常进行，且置换时间距募集资金到账时间 不超过六个月，符合《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使 用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所 上市公司募集资金管理办法》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对 公司本次使用募集资金置换预先已投入募投项目及预先支付发行费用自筹资金 的事项无异议。

（以下无正文）

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（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有 限公司使用募集资金置换预先已投入募投项目及预先支付发行费用自筹资金的 核查意见》之签字盖章页）

保荐代表人签名：

于军杰 林剑辉

海通证券股份有限公司 年 月 日

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