CIRCUIT FABOLOGY MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. — AGM Information 2021

May 16, 2021

德恒上海律师事务所

关于

合肥芯基微电子装备股份有限公司

2020年年度股东大会

见证法律意见

上海市东大名路 501 号上海白玉兰广场办公楼 23 楼 电话: 021-5598 9888 传真: 021-5598 9898 邮编: 200080

德恒上海律师事务所

关于

合肥芯基微电子装备股份有限公司

2020年年度股东大会

见证法律意见

德恒 02G20210148-00001 号

致: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

德恒上海律师事务所(以下简称"本所")接受合肥芯碁微电子装备股份有 限公司(以下简称"公司"或"芯碁微装")的委托,指派李珍慧律师、李晓新 律师(以下合称"本所承办律师")列席了公司于2021年5月14日在合肥市高 新区创新大道 2800 号创新产业园二期 F5 一楼会议室召开的 2020 年年度股东大 会(以下简称"本次股东大会"), 就本次股东大会召开的合法性进行见证并出 具本法律意见。

本所承办律师依据本法律意见出具日前已经发生或存在的事实和《中华人民 共和国公司法》(以下简称《公司法》)、《中华人民共和国证券法》(以下简称《证 券法》)、《上市公司股东大会规则》(以下简称《股东大会规则》)等现行有效的 法律、法规和规范性文件以及《合肥芯碁微电子装备股份有限公司章程》(以下 简称《公司章程》)的有关规定出具本法律意见。

为出具本法律意见,本所承办律师审查了公司本次股东大会的有关文件和资 料,本所承办律师得到公司如下保证,即其已提供了本所承办律师认为作为出具 本法律意见所必需的材料, 所提供的原始材料、副本、复印件、口头证言等材料 均符合真实、准确、完整的要求, 无任何隐瞒、疏漏, 有关副本、复印件等材料 与原始材料一致。

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为出具本法律意见, 本所承办律师杳验了句括但不限于以下内容:

1. 本次股东大会的召集和召开程序:

2. 出席本次股东大会人员及会议召集人资格:

3. 本次股东大会的表决程序及表决结果;

4. 本次股东大会是否讨论未列入《通知》会议议程的事项。

为出具本法律意见,本所及本所承办律师声明如下:

1. 本所及承办律师依据《证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》 和《律师事务所证券法律业务执业规则(试行)》等规定及本法律意见出具日以 前已经发生或者存在的事实,严格履行了法定职责,遵循了勤勉尽责和诚实信用 原则, 进行了充分的核查验证, 保证本法律意见所认定的事实真实、准确、完整, 所发表的结论性意见合法、准确,不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏, 并承担相应法律责任。如因本法律意见存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏, 并因此给投资者造成直接损失的,本所将依法赔偿投资者直接经济损失, 但本所 能够证明自己没有讨错的除外。

2. 本所承办律师依据本法律意见出具日之前已经发生或存在的事实以及中 华人民共和国(仅为本法律意见之目的,不包括香港特别行政区、澳门特别行政 区及台湾地区)现行法律、法规、中国证监会及上海证券交易所(以下简称"上 交所")的有关规定发表法律意见。

3. 本法律意见仅供公司本次股东大会之目的使用, 未经本所及承办律师书 面同意, 不得用于其他任何目的。

4. 本所及承办律师同意将本法律意见作为公司本次股东大会的必备公告文 件随同其它文件一并公告。

5. 在本法律意见中,本所承办律师仅对本次股东大会的召集和召开程序、 出席会议人员及召集人资格、会议表决程序及表决结果是否符合《公司法》《股 东大会规则》等法律、法规、规范性文件及《公司章程》的有关规定发表意见, 不对本次股东大会议案的内容以及这些议案中所表述的事实或数据的真实性及

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准确性等问题发表意见。

本所承办律师根据《证券法》《股东大会规则》《律师事务所从事证券法律业 务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则(试行)》《公司章程》的要求, 按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽职精神,对公司所提供的相关 文件和有关事实讲行核杳和验证的基础上, 现出具如下法律意见:

一、关于本次股东大会的召集与召开程序

本所承办律师采取了包括但不限于如下核杳方法: 1. 登录上交所网站 (www.sse.com.cn) 查询本次股东大会相关公告; 2. 现场见证公司本次股东大 会会议召开情况: 3. 杳阅公司第一届董事会第十一次会议决议等。

在审慎核查的基础上,本所承办律师出具如下法律意见:

经本所承办律师核杳,公司第一届董事会第十一次会议于 2021 年 4 月 22 日作出决议,同意召开本次股东大会,公司于2021年4月23日公告了《关于召 开 2020 年年度股东大会的通知》(以下简称为《通知》)。公司董事会已就本 次股东大会的召开作出决议,并于本次股东大会召开15日前以公告形式通知各 股东。《通知》载明了本次股东大会的召开时间、会议召开地点、会议审议事项、 会议出席对象和会议登记方法等, 说明了有权出席会议股东的股权登记日及其可 委托代理人出席会议并参加表决的权利。

本次股东大会采取现场会议与网络投票的方式召开。现场会议于2021年5 月 14 日 9 点在合肥市高新区创新大道 2800 号创新产业园二期F5 一楼会议室召 开: 网络投票中, 通过上交所交易系统投票平台的投票时间为 2021 年 5 月 14 日上午 9:15-9:25、9:30-11:30 以及下午 13:00-15:00,通过上交所互联网投票平台 的投票时间为2021年5月14日9:15-15:00。

本次股东大会由公司董事长程卓主持, 会议召开的时间、地点、审议议案及 其他事项与《通知》披露一致。

本所承办律师认为,本次股东大会的召集和召开程序符合相关法律、法规和 《公司章程》的规定。

二、关于出席本次股东大会人员及会议召集人资格

本所承办律师采取了包括但不限于如下核杳方法: 1. 杳验自然人股东的身 份证等: 2. 查验法人股东的营业执照复印件、法定代表人授权委托书、出席人 身份证等: 3. 登录上交所网站 (www.sse.com.cn) 杳询有关本次股东大会的公 告: 4. 查验本次股东大会的签到表: 5. 现场见证本次股东大会等。

在审慎核杳的基础上,本所承办律师出具如下法律意见:

经本所承办律师核查, 出席本次股东大会现场会议的股东及股东委托代理人 7人,代表公司有表决权股份数为54.832.108股,占公司股份总数的45.39%。根 据本次股东大会网络投票统计表,通过网络投票系统进行投票的股东共 13 人, 代表公司有表决权股份数为 30,948,847 股, 占公司股份总数的 25.62%。出席本 次股东大会现场会议和通过网络投票系统进行投票的中小投资者股东20人,代 表公司有表决权股份数为 85,780,955 股, 占公司股份总数的 71.01%。

公司董事、部分监事及董事会秘书出席了本次股东大会, 1 名监事因个人身 体原因未能出席本次股东大会,公司高级管理人员和本所承办律师列席了本次股 东大会, 该等人员均具备出席本次会议的合法资格。

综上,本所承办律师认为,本次股东大会出席人员的资格符合相关法律、法 规和《公司章程》的规定;本次股东大会的召集人为公司董事会,符合相关法律、 法规和《公司章程》的规定。

三、本次股东大会的表决程序以及表决结果

本所承办律师采取了包括但不限于如下核杳方法: 1. 杳验公司本次股东大 会会议资料: 2. 监督股东大会会议现场投票、计票: 3. 查验股东所填写的表决 票: 4. 杳验本次股东大会审议议案的表决情况汇总表及网络投票结果等。

在审慎核杳的基础上, 本所承办律师出具如下法律意见:

本次股东大会采取现场投票与网络投票相结合的方式, 就会议《通知》中列 明的需要投票表决的议案讲行了审议,其中现场会议以记名投票表决方式进行了 表决, 且进行了计票、监票, 并在会议现场宣布表决结果。

本次股东大会审议通过的议案及表决结果如下:

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(一)《关于公司2020年年度报告及摘要的议案》

表决结果: 同意 85.780.955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股,占出席会议有效表决权股份总数的 0%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的 0%。

(二)《关于公司2020年度财务决算报告的议案》

表决结果: 同意 85,780,955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股,占出席会议有效表决权股份总数的 0%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的0%。

(三)《关于公司2020年度利润分配预案的议案》

表决结果: 同意 85.780.955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股 占出席会议有效表决权股份总数的 0%: 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的0%。

其中,出席会议的中小投资者的表决情况为:同意 27,012,775 股, 占该等股 东有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股.占出席会议有效表决权股份总数的 0%: 弃权 0 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 0%。

(四)《关于公司2020年度董事会工作报告的议案》

表决结果:同意 85.780.378 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 99.9993%; 反对 577股,占出席会议有效表决权股份总数的 0.0007%; 弃权 0股, 占出席会议 有效表决权股份总数的 0%。

(五)《关于公司2020年度监事会工作报告的议案》

表决结果: 同意 85,780,955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股 占出席会议有效表决权股份总数的 0%: 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的 0%。

(六)《关于变更公司地址及修订〈公司章程〉的议案》

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表决结果: 同意 85 780 955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股.占出席会议有效表决权股份总数的 0%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的 0%。

本议案为股东大会特别决议事项,已经出席本次股东大会的股东及股东代理 人所持表决权的三分之二以上同意通过。

(七)《关于续聘容诚会计师事务所(特殊普通合伙)为公司 2021 年度审计机 构的议案》

表决结果: 同意 85.780.955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股 占出席会议有效表决权股份总数的 0%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的 0%。

其中, 出席会议的中小投资者的表决情况为: 同意 27.012.775 股, 占该等股 东有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股、占出席会议有效表决权股份总数的 0%: 弃权 0 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 0%。

(八)《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》

表决结果:同意85.780.378 股,占出席会议有效表决权股份总数的99.9993%; 反对 577 股.占出席会议有效表决权股份总数的 0.0007%: 弃权 0 股, 占出席会议 有效表决权股份总数的 0%。

其中, 出席会议的中小投资者的表决情况为: 同意 27.012.198 股, 占该等股 东有效表决权股份总数的 99.9978%: 反对 577 股.占出席会议有效表决权股份总 数的 0.0022%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 0%。

(九)《关于2021年度向金融机构申请综合授信额度的议案》

表决结果: 同意 85.780.955 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股,占出席会议有效表决权股份总数的 0%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表 决权股份总数的 0%。

其中, 出席会议的中小投资者的表决情况为: 同意 27.012.775 股, 占该等股 东有效表决权股份总数的 100%; 反对 0 股、占出席会议有效表决权股份总数的

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0%; 弃权 0 股, 占出席会议有效表决权股份总数的 0%。

本所承办律师认为,本次股东大会的表决程序和表决方式符合《公司法》《证 券法》等法律、法规和《公司章程》的有关规定,表决结果合法、有效。

四、本次股东大会未讨论《通知》中没有列入会议议程的事项

本所承办律师核杳了包括但不限于如下文件: 1. 杳验了本次股东大会的会 议决议: 2. 本所承办律师现场见证本次股东大会等。

在审慎核查的基础上,本所承办律师出具如下法律意见:

经本所承办律师核杳,本次股东大会未讨论《通知》中没有列入会议议程的 事项。

五、结论意见

综上所述,本所承办律师认为,公司本次股东大会的召集和召开程序、出席 会议人员的资格、召集人资格、本次股东大会的表决程序及表决结果均符合相关 法律、法规和《公司章程》的相关规定,本次股东大会未讨论没有列入会议议程 的事项,本次股东大会所通过的决议合法、有效。

本法律意见正本一式叁份, 经本所负责人及承办律师签字并经本所盖章后生 效。

(以下无正文)

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(本页无正文,为《德恒上海律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2020年年度股东大会见证法律意见》签署页)

见证律师:

李珍慧

桨雨辰 见证律师:

柴雨辰

加作5月14日