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Regulatory Filings • Sep 25, 2020

인베니아/기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)/(2020.09.25)기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)(유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치)

기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)

1. 특허명칭	유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치
2. 특허 주요내용	출원번호:10-2019-0069571 본 발명은 건식식각장비 상하부 사이에 브릿지 안테나를 배치, 장비 내부 절연창 및 프레임바 등 필수 구성물과 안테나 간의 간섭을 최소화하고 연결 안테나 높이를 조절 가능하게 할 수 있다.이는 내부 공정공간안에 형성되는 플라즈마 균일도 향상과 정밀한 플라즈마 밀도 조절이 가능하다.
3. 특허권자	인베니아(주)
4. 특허취득일자	2020-09-25
5. 특허 활용계획	현재 대면적 건식식각장비에 우선 적용예정이며,이를통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 기술수준이 향상될 것이다.
6. 확인일자	2020-09-25
7. 기타 투자판단에 참고할 사항	출원번호:10-2019-0069571 -특허취득일자는 특허 수수료 납부일자이며,확인일자는 특허등록 대리인으로부터 통지받은 날입니다.