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Regulatory Filings • Nov 13, 2020

인베니아/기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)/(2020.11.13)기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)(유도 결합 플라즈마 처리장치)

기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)

1. 특허명칭	유도 결합 플라즈마 처리장치
2. 특허 주요내용	본 발명은 건식식각장비 공정챔버의 유지보수를 위한 상부 리드 개폐시 안테나가 복수 개의 서포터, 리드와 일체로 이탈되어 이에 정비효율이 향상
3. 특허권자	인베니아(주)
4. 특허취득일자	2020-11-13
5. 특허 활용계획	대면적 건식식각장비에 적용될 예정이며,이를통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 장비 경쟁력 강화 및 기술수준이 향상될 것이다.
6. 확인일자	2020-11-13
7. 기타 투자판단에 참고할 사항	출원번호:10-2019-0082141 -특허취득일자는 특허 수수료 납부일자이며,확인일자는 특허등록 대리인으로부터 통지받은 날입니다.