GESCHÄFTSBERICHT 2021

LITHOGRAFIE	BONDER	FOTOMASKEN MIKROOPTIK EQUIPMENT		SONSTIGE
• Mask-Aligner • UV-Projektions belichtungs systeme • Belacker/ Entwickler	• Bonder	• Fotomasken Bearbeitungs systeme	• Mikrooptik und -linsen	• Zentrale Konzern funktionen
Auftragseingang: 183,9 MIO. €	Auftragseingang: 46,4 MIO. € Klapper innen:	Auftragseingang: 70,8 MIO. €	Auftragseingang: 34,2 MIO. €	Auftragseingang: 1,7 MIO. €
Segmentumsatz: 155,1 MIO. €	Geschäftsbereiche Segmentumsatz: 31,3 MIO. €	Segmentumsatz: 49,7 MIO. €	Segmentumsatz: 25,7 MIO. €	Segmentumsatz: 1,7 MIO. €
Segmentergebnis EBIT: 16,0 MIO. €	Segmentergebnis EBIT: 0,6 MIO. €	Segmentergebnis EBIT: 6,6 MIO. €	Segmentergebnis EBIT: -1,7 MIO. €	Segmentergebnis EBIT: 1,1 MIO. €

STANDORTE

Produktion
Vertrieb

UMSATZ NACH REGIONEN IN %

EMEA 21,9
Nordamerika 11,7
Asien / Pazifik 66,3

KENNZAHLEN

in Mio. €	2021	2020	Veränderung 2021 / 2020
Geschäftsentwicklung
Auftragseingang	337,0	281,1	19,9 %
Auftragsbestand zum 31.12.	193,9	120,1	61,4 %
Umsatz gesamt	263,4	252,1	4,5 %
Rohertrag	94,2	83,7	12,5 %
Rohertragsmarge	35,8 %	33,2 %	2,6 %-Punkte
Rohertrag – bereinigt um Sondereffekte	92,7	83,8	10,6 %
Rohertragsmarge – bereinigt um Sondereffekte	35,2 %	33,2 %	2,0 %-Punkte
Herstellungskosten	169,2	168,4	0,5 %
Herstellungskosten – bereinigt um Sondereffekte	170,7	168,3	1,4 %
Forschungs- und Entwicklungskosten	22,1	19,8	11,6 %
EBITDA	29,6	28,2	–
EBITDA-Marge	11,2 %	11,2 %	0,0 %-Punkte
EBIT	22,6	20,4	–
EBIT-Marge	8,6 %	8,1 %	0,5 %-Punkte
EBIT – bereinigt um Sondereffekte	21,1	23,0	–
EBIT-Marge – bereinigt um Sondereffekte	8,0 %	9,1 %	-1,1 %-Punkte
Ergebnis nach Steuern	16,0	12,4	–
Ergebnis je Aktie, unverwässert (in EUR)	0,86	0,65	–
Sondereffekte
Wertaufholungen / Sonderabwertungen auf Vermögenswerte	-1,5	-2,1	–
Schließungskosten enthalten in den Umsatzkosten	0,0	2,2	–
Schließungskosten enthalten in den Vertriebs-, Verwaltungs- und Entwicklungskosten	0,0	2,5	–
Bilanz und Cashflow
Eigenkapital	156,9	136,5	14,9 %
Eigenkapitalquote	56,2 %	59,0 %	-2,8 %-Punkte
Eigenkapitalrentabilität	10,2 %	9,1 %	1,1 %-Punkte
ROCE	14,0 %	12,9 %	1,1 %-Punkte
Bilanzsumme	279,2	231,4	20,7 %
Net Cash	33,8	20,3	–
Free Cashflow	14,7	44,0	–
Weitere Kennzahlen
Investitionen	9,6	11,3	-15,0 %
Investitionsquote	3,6 %	4,5 %	-0,8 %-Punkte
Abschreibungen	7,1	7,8	-9,0 %
Mitarbeiter zum 31.12.	1.178	1.009	16,7 %

6	. Brief des Vorstands
10	. Bericht des Aufsichtsrats
16	. We are part of it
44	. Investor Relations –
48	SÜSS MicroTec am Kapitalmarkt . Zusammengefasster Lagebericht
134	. Konzernabschluss nach IFRS
151	. Anhang zum IFRS-Konzernabschluss
201	. Kontakt / Impressum
202	. Fünfjahresübersicht
203	. Finanzkalender 2022

von links: Dr. Thomas Rohe, Dr. Götz M. Bendele, Oliver Albrecht

BRIEF DES VORSTANDS

Sehr geehrte Damen und Herren,

wir berichten Ihnen über den Verlauf und die Ergebnisse des Geschäftsjahres 2021 der SÜSS MicroTec SE, das insgesamt positiv verlaufen ist. Dabei können die anhaltenden Supply-Chain-Herausforderungen und der im Februar von Russland begonnene Angriffskrieg auf die Ukraine den Ausblick für unser Unternehmen im laufenden Jahr wesentlich beeinflussen.

Im Jahr 2021 sind zwei von uns (Götz M. Bendele, Thomas Rohe) als Vorstände angetreten mit dem uns dreien gemeinsamen Ziel, das enorme Potenzial des Technologieunternehmens SÜSS MicroTec in den nächsten Jahren weitestgehend zu realisieren. Wir haben bereits 2021 einige strategische Weichenstellungen vorgenommen, um das Unternehmen weiterzuentwickeln, auch wenn wir uns noch nahe am Anfang dieser Transformation befinden.

GESCHÄFTSENTWICKLUNG 2021

Zunächst zum Geschäftsjahr 2021: Sowohl Auftragseingang, Umsatz als auch der Unternehmensgewinn (EBIT) sind weiter gestiegen. Das Unternehmen rückt damit dem Ziel einer robusten und nachhaltigen Profitabilität ein gutes Stück näher. Weiteres nachhaltiges Wachstum erscheint plausibel und auch in unserer grundsätzlich zyklischen Industrie nachvollziehbar. Auch der Free Cashflow war trotz eines den Lieferengpässen geschuldeten Aufbaus des Vorratsvermögens erneut positiv, und die Netto-Cash-Reserve des Unternehmens hat sich weiter erhöht.

Nennenswerte Ergebnisse des zurückliegenden Geschäftsjahres sind unter anderem:

Mit einem Umsatzwachstum um 4,5 Prozent auf 263,4Mio. € konnte SÜSS MicroTec den Rekordumsatz des Vorjahres (252,1 Mio. €) übertreffen. Allerdings haben wir durch Umsatzverschiebungen am Jahresende unsere ursprüngliche Prognose nicht erreichen können. Beim Auftragseingang hingegen haben wir auch unsere eigenen Erwartungen übertroffen: Mit einem Wachstum um 19,9 Prozent auf 337,0 Mio. € (Vorjahr: 281,1 Mio. €) haben wir einen Rekord erzielt. Im dritten Quartal wurde zudem mit 101,0 Mio. € erstmals ein Auftragseingang von mehr als 100 Mio. € in einem Quartal erreicht. Es ist erfreulich, dass alle vier Segmente zum deutlichen Anstieg im Auftragseingang beigetragen haben.

Das Umsatzwachstum hat sich positiv auf den Gewinn ausgewirkt: Das EBIT stieg um 10,8 Prozent auf 22,6 Mio. € an (Vorjahr: 20,4 Mio. €), und die EBIT-Marge stieg auf 8,6 Prozent (Vorjahr: 8,1 Prozent). Auch hat SÜSS MicroTec mit einer Kapitalrendite (ROCE) von 14,0 Prozent im Jahr 2021 wie schon im Vorjahr (2020: 12,9 Prozent) für unsere Aktionärinnen und Aktionäre Wert schaffen können. Ebenfalls positiv war der Free Cashflow in Höhe von 14,7 Mio. €, auch wenn wir zum Jahresende aufgrund der Supply-Chain-Herausforderungen gezielt höhere Sicherheitsbestände aufgebaut haben. An dieser Stelle merken wir an, dass wir den Kapitaleinsatz des Unternehmens auch in den nächsten Jahren weiter verbessern wollen.

Diese Ergebnisse konnten trotz der sich ab der zweiten Jahreshälfte verschärfenden Supply-Chain-Herausforderungen erreicht werden, die zu Verzögerungen bei Auslieferung und Umsatzrealisierung geführt haben. Dies verdanken wir in erster Linie unseren rund 1.200 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern weltweit – dafür danken wir ihnen allen ausdrücklich. SÜSS MicroTec befindet sich auf einem profitablen Wachstumskurs und auf dem Weg, mit weiter steigender Kapitalrendite bei positivem Cashflow auch in Zukunft Wert zu schaffen. Wir werden unsere weltweite Position als führender Partner der globalen Halbleiterindustrie weiter ausbauen.

Der Vorstand von SÜSS MicroTec hat im März 2022 zum ersten Mal eine Dividendenpolitik für das Unternehmen beschlossen. Diese sieht vor, dass grundsätzlich zwischen 20 Prozent und 40 Prozent vom Konzern-Free-Cashflow als Dividende ausgeschüttet werden sollen. Der Vorstand und der Aufsichtsrat werden der diesjährigen Hauptversammlung vorschlagen, zum ersten Mal seit dem Börsengang des Unternehmens eine Dividende zu zahlen, und zwar 0,16 € pro Aktie. Dies entspricht circa 20,8 Prozent von dem im vergangenen Jahr erwirtschafteten Free Cashflow.

UNSERE GESCHÄFTE IM EINZELNEN

Das Segment Lithografie ist mit einem Umsatzanteil von knapp 59 Prozent das umsatzstärkste Segment. Im Jahr 2021 erhöhte sich der Außenumsatz des Segments auf 155,1 Mio. € (Vorjahr: 141,4 Mio. €) und der Segment-EBIT stieg auf 16,0 Mio. € (Vorjahr: 9,0 Mio. €). Der Auftragseingang stieg ebenfalls auf 183,9 Mio. € (Vorjahr: 173,5 Mio. €). Wachstumsbeiträge in diesem Segment erwarten wir unter anderem aus dem überdurchschnittlich wachsenden Advanced-Packaging-Markt, aus dem weiteren Gewinn von Marktanteilen nicht zuletzt mit den UV-Projektionsscannern, aus der Integration der von uns akquirierten Inkjet-Technologie in unsere Belackungs- und Entwickler-Lösungen sowie aus unseren Lösungen für Imprint-Prozesse. Unter anderem haben wir im Jahr 2021 nach dem erfolgreich abgeschlossenen Transfer der Produktion unserer UV-Projektionsscanner neue Aufträge für diese Systeme erhalten.

Der Außenumsatz im Segment Bonder erhöhte sich im Jahr 2021 leicht auf 31,3 Mio. € (Vorjahr: 30,4 Mio. €), und der Segment-EBIT stieg ebenfalls leicht auf 0,6 Mio. € (Vorjahr: 0,4 Mio. €). Der Auftragseingang stieg stärker als Umsatz und Gewinn auf 46,4 Mio. € (Vorjahr: 37,4 Mio. €). Wir erwarten, dass das Segment Bonder und insbesondere das sich entwickelnde Geschäft mit Lösungen für Hybrid Bonding eine wesentliche Wachstumssäule für SÜSS MicroTec sein wird. Hierbei ist es unsere Strategie, unseren Kunden ein umfangreiches Portfolio an Die-to-Wafer- und Wafer-to-Wafer-Hybrid-Bonding-Lösungen anzubieten. Nachdem unsere Wafer-to-Wafer-Hybrid-Bonding-Lösung bereits seit der ersten Jahreshälfte 2021 durch Dritte qualifiziert wird, sind wir im dritten Quartal eine Kooperation mit der SET Corporation aus Saint-Jeoire, Frankreich, eingegangen, um gemeinsam eine vollautomatische, flexible Anlagenlösung für Die-to-Wafer Hybrid Bonding zu entwickeln. Diese Lösung wird aktuell mit Hochdruck entwickelt. Mehr zum Thema Hybrid Bonding finden Sie ab Seite 16.

Der Außenumsatz im Segment Fotomasken-Equipment sank im Jahr 2021 auf 49,7 Mio. € (nach 57,7 Mio. € im Vorjahr). Entsprechend reduzierte sich der Segment-EBIT auf 6,6 Mio. € (nach 15,3 Mio. € im Vorjahr). Da unser Geschäft in diesem Segment stärker als in den anderen Segmenten von einzelnen großen Aufträgen weniger Kunden bestimmt ist, schwankt der Umsatz von Jahr zu Jahr im Vergleich stärker. Die Nachfrage nach unseren Lösungen in diesem Segment ist stark: Unser Marktanteil ist unverändert sehr hoch, und der Auftragseingang stieg 2021 deutlich auf 70,8 Mio. € (nach 47,2 Mio. € im Vorjahr), unter anderem aufgrund der hohen Investitionsbereitschaft unserer Kunden im Bereich EUV-Lithografie. Auch in Zukunft wird dieses Segment einen wesentlichen Wachstumsbeitrag leisten, allerdings voraussichtlich in der Größenordnung des Marktwachstums.

Der Außenumsatz im Segment Mikrooptik erhöhte sich im Jahr 2021 auf 25,7 Mio. € (nach 21,5 Mio. € im Vorjahr), zusammengesetzt grob zur Hälfte aus sogenannten FSMO-Anwendungen (Fiber/Semiconductor/Medical/Optical) und zur anderen Hälfte aus der Anwendung Lichtteppiche im Automotive-Bereich. Im Herbst 2021 haben wir dazu die Produktion von Mikrolinsen-Arrays (MLAs) für hochmoderne Autoscheinwerfer aufgenommen, und von zweien unserer Kunden ist das jeweils erste Fahrzeug mit von unseren MLAs angetriebenen Abblendlichtern noch Ende 2021 auf den Markt gekommen. Dies ist ein wichtiger Meilenstein für unser Segment Mikrooptik. Das Segment-EBIT sank dabei auf einen Verlust in Höhe von 1,7 Mio. € (nach 0,0 Mio. € im Vorjahr). Die Ursache hierfür liegt hauptsächlich in Serienanlaufkosten im vierten Quartal im Zusammenhang mit dem Produktionsstart unseres zweiten Fertigungsstandorts. Dies waren im Wesentlichen Einmalkosten: Das Segment Mikrooptik hat in den Auftaktmonaten des Jahres 2022 mit dem Segment-EBIT die Gewinnzone erreicht. Der Auftragseingang im Segment Mikrooptik stieg stärker als der Umsatz auf 34,2 Mio. € (nach 21,9 Mio. € im Vorjahr). Mehr zum Thema Automobile-Beleuchtung mit Mikrolinsen-Arrays finden Sie ab Seite 20.

VERÄNDERUNGEN

SÜSS MicroTec ist ein Technologieunternehmen, das als langjähriger Partner der Halbleiterindustrie oft an der Spitze des technologisch Machbaren agiert. Unsere Kunden arbeiten nicht nur aufgrund der Spezifikationen unserer Anlagen (die natürlich ihre Anforderungen erfüllen müssen) mit uns zusammen, sondern gerade auch aufgrund der Zuverlässigkeit unserer Lösungen, unserer Zuverlässigkeit als Lieferant beziehungsweise Partner sowie unserer engen Zusammenarbeit mit unseren Kunden auch bei deren Technologie-Roadmap – also nicht zuletzt unserer Kundenorientierung.

Wir haben zahlreiche Gespräche im Unternehmen darüber geführt, welche Anpassungen und Veränderungen nötig sind, um unseren Erfolg weiter zu steigern. Dabei geht es nicht nur um eine Verbesserung der finanziellen und operativen Performance. Wir müssen schnelleres und direkteres Handeln ermöglichen, sowohl innerhalb des Unternehmens als auch in der Zusammenarbeit mit unseren Kunden – auch wenn die Umsetzung von Veränderungen dieser Art Zeit benötigt.

Wir halten drei Themen für wichtig, um die Grundlage für die von uns angestrebten Performance-Verbesserungen sowie nachhaltiges Wachstum zu legen. Aus diesen Themen haben sich bereits einige Veränderungen ergeben, und weitere Anpassungen und Verbesserungen folgen in diesem Jahr.

Erstens müssen wir die wirtschaftliche Logik unserer Kunden noch besser verstehen. Unsere Anlagen führen bei unseren Kunden Prozessschritte durch, die für die Kostenbasis und damit den Wert der Produkte unserer Kunden entscheidend sein können. Unser Wertbeitrag besteht insbesondere darin, dass wir die Parameter, die den wirtschaftlichen Erfolg unserer Kunden ausmachen, genau verstehen. Dies ist nicht einfach und bedeutet, dass wir die Märkte unserer Kunden in der Vielzahl an Anwendungen, für die unsere Anlagen eingesetzt werden, im Detail verstehen müssen. Wir haben bereits erste Maßnahmen ergriffen, um die Kundennähe und unser Verständnis vom konkreten Kundennutzen unserer Lösungen weiter zu erhöhen, und wir werden das strategische Produktmanagement in den verschiedenen Bereichen des Unternehmens weiter stärken. Dies tun wir 2022 mit Nachdruck.

Zweitens möchten wir, dass wir alle gemeinsam als "One Company" handeln. Das ist nicht selbstverständlich, und es erfordert eine deutlich höhere Transparenz und engere Zusammenarbeit im ganzen Unternehmen. Dies gilt für das gesamte Unternehmen, ob im Vertrieb, dem Service, der Forschung & Entwicklung, der Produktion oder den zentralen Funktionen. Den Integrationsgrad der heutigen Unternehmensstruktur mit vier Segmenten, die unter anderem bezüglich Forschung und Entwicklung, den Produkten und den Kundengruppen relativ unabhängig voneinander agieren, werden wir sinnvoll erhöhen. Viele unserer Kunden beziehen Systeme aus mehreren Segmenten von uns, und wir entwickeln auch neue Produkte, die nicht eindeutig einem unserer aktuellen Segmente zugeordnet werden können. Hier wollen wir die potenziellen Synergien über die heutigen Einheiten hinweg maximieren. Als ersten, wichtigen Schritt haben wir die Verschmelzung der beiden in Deutschland tätigen operativen Tochtergesellschaften beschlossen, die noch in diesem Frühjahr vollzogen werden soll.

Drittens möchten wir die Wirtschaftlichkeit und Effizienz des Unternehmens weiter stärken. Trotz des starken Umsatzwachstums der vergangenen Jahre liegt die Profitabilität nach wie vor unterhalb der Werte vieler Peers. Hier geht es uns nicht primär um klassische Kostensenkung, sondern um eine solche Optimierung der Abläufe und Prozesse, die unsere Fähigkeiten stärken und zukünftiges Wachstum nicht einschränken. Unter anderem zielt unser im Sommer 2021 begonnenes Lean-Manufacturing-Programm hierauf ab; es wird auch im Jahr 2022 mit Nachdruck fortgeführt. Daneben werden wir die Kostendisziplin im Unternehmen weiter stärken, damit wir bei unterdurchschnittlich steigenden Fixkosten weiter nachhaltig wachsen können. Hier gibt es noch wesentliche Verbesserungsmöglichkeiten.

Um diese Ziele zu erreichen, haben wir im dritten Quartal des vergangenen Geschäftsjahres ein unternehmensweites Transformationsprogramm auf den Weg gebracht, das nahezu alle Bereiche des Unternehmens einbezieht. Es setzt sich aus 13 funktionalen Projekten zusammen, also zum Beispiel Vertrieb, Service, Forschung/Entwicklung, Produktion, Human Resources, Finanzen. Es geht uns hierbei um nachhaltige operative Verbesserungen, eine bessere Zusammenarbeit sowie eine stärkere Fokussierung auf den Kundenwert und damit unseren Erfolg bei unseren Kunden. Dieses Programm setzen wir 2022 mit Nachdruck fort.

Als Unternehmen haben wir den Anspruch, unser Geschäft nachhaltig zu betreiben und dabei auch soziale und ökologische Verantwortung zu übernehmen: Der Schutz unserer Umwelt und die Entwicklung der Gesellschaft sind wichtige Aufgaben, und wir sind uns dieser Verantwortung bewusst: Dies ist ein außerordentlich wichtiger Teil unseres Erfolgs.

Darum haben wir im Jahr 2021 das Nachhaltigkeits-Programm "SUS(S)tainability" begonnen. Es wird ein wesentliches Element unseres unternehmerischen Handelns werden und zukünftige Entscheidungen nicht nur beeinflussen, sondern prägen. Das Programm umfasst verschiedene Fokusfelder, unter anderem die Bereiche Klima und Umwelt, Mitarbeitende und Governance. Hierbei sind für die Fokusfelder entsprechende Ziele definiert. Durch regelmäßige Überwachung der Projektfortschritte und die Definition geeigneter Maßnahmen wollen wir anspruchsvolle Ziele erreichen. Als ein wesentliches übergeordnetes Ziel wollen wir die Klimaneutralität von SÜSS MicroTec bis 2030 erreichen.

AKTUELLE ENTWICKLUNGEN UND AUSBLICK

SÜSS MicroTec hat sich im vergangenen Jahr erfolgreich weiterentwickelt. Allerdings hat die COVID-19-Pandemie auch 2021 maßgeblich beeinflusst. Dass trotzdem die erzielten Ergebnisse erreicht werden konnten, illustriert die Leistungsfähigkeit und die heute bereits vorhandene Resilienz des Unternehmens.

Zunächst zum direkten Einfluss der Pandemie: Eine große Mehrheit unserer Belegschaft hat 2021 Impfangebote, darunter auch solche, die wir an unseren Standorten angeboten haben, angenommen. Gleichzeitig haben wir die von uns getroffenen Maßnahmen aufrechterhalten und der Situation kontinuierlich angepasst. Viele unserer Teams haben zum Beispiel auch 2021 weitestgehend im Home-Office gearbeitet, die physische Interaktion an unseren Standorten blieb minimiert. Unser Geschäft – einschließlich der Produktion an allen Standorten – fand auch 2021 ohne Einschränkungen statt. Die sich seit Dezember ausbreitende Omikron-Variante hat auch bei SÜSS MicroTec im ersten Quartal 2022 zu höheren Fallzahlen geführt, allerdings nicht zu längeren Ausfällen oder zu schweren Erkrankungen. In jedem Fall werden wir auch weiterhin alles tun, was wir tun können, um unsere Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter, deren Angehörige sowie unsere Geschäftspartner und die Gesellschaft zu schützen, um die wirtschaftlichen Auswirkungen zu minimieren und um unsere Kunden auch während der Pandemie so effektiv wie möglich weiter zu bedienen.

Schwieriger für das Unternehmen war die bis heute andauernde, teils deutlich verschlechterte Lage unserer Supply Chain – eine Entwicklung, die ja die gesamte Industrie betrifft. Konkret werden viele Komponenten – seien es Roboter oder elektrische Standardteile – kurzfristig nicht geliefert, Lieferzeiten verlängern sich teils deutlich, und die Liefersicherheit hat allgemein abgenommen. In vielen Fällen ist es uns gelungen, Gegenmaßnahmen zu treffen, zum Beispiel indem wir neue Komponenten qualifiziert haben. Daneben gibt es auch Engpässe in der Logistik (dem Transport zum Kunden), zum Beispiel beim Transport oder der Abfertigung, wenn für Regionen Lockdowns erlassen werden.

Diese Supply-Chain-Herausforderungen beeinflussen uns auf zwei Weisen: Erstens kann es aufgrund von Fehlteilen Verzögerungen bei der Auslieferung geben. Auch wenn diese nicht lang sind, haben sich manche über das Jahresende hinaus erstreckt, was den Umsatz (und damit das EBIT) entsprechend gesenkt hat. Zweitens kann es sein, dass Anlagen trotz einiger Fehlteile – mit Einverständnis des Kunden – zum geplanten Zeitpunkt ausgeliefert werden, aber der entsprechende Umsatz aufgrund der Fehlteile nicht bei Auslieferung realisiert wird, sondern erst, nachdem die Fehlteile bei der Inbetriebnahme nachgeliefert und eingebaut werden. Auch dies hat Umsatz und EBIT gesenkt und wird dies auch in Zukunft tun.

Wir möchten anmerken, dass wir aufgrund dieser Verzögerungen keine Stornierungen von Aufträgen zu verzeichnen hatten und damit auch nicht für die absehbare Zukunft rechnen. Dies

liegt auch daran, dass wir mit vielen Kunden eine langfristig angelegte, enge Beziehung eingehen beziehungsweise eine solche schon länger besteht.

Am 24. Februar 2022 haben russische Streitkräfte die Ukraine angegriffen. Dieser Krieg dauert an und ein Ende ist derzeit nicht abzusehen. Als Konsequenz haben Deutschland, die Europäische Union, die USA sowie eine Reihe weiterer Länder Russland mit umfangreichen Sanktionen belegt. SÜSS MicroTec hält sich konsequent an diese Sanktionen und hat außerdem sein gesamtes Geschäft mit Kunden in Russland eingestellt. Die direkten wirtschaftlichen Auswirkungen sind gering: Der Umsatz mit Russland war 2021 weniger als 1 Mio. €, und es bestanden inzwischen stornierte Aufträge von ca. 4,5 Mio. €. Dies ändert unsere Prognose für 2022 nicht.

Der Verlauf des Geschäftsjahres 2022 wird stark vom Zeitpunkt der Auflösung der verschiedenen Zulieferengpässe abhängen. Wir gehen davon aus, dass sich geplante Liefertermine und Umsatz für Anlagen vom ersten in das zweite Halbjahr verschieben werden. Voraussichtlich können auch nicht alle für 2022 geplanten Aufträge vor Jahresende fertiggestellt werden. Sofern sich die aktuellen Lieferengpässe bis zum Ende des ersten Halbjahres weitgehend auflösen, können wir viele Rückstände bei der Auslieferung im zweiten Halbjahr aufholen. Unter dieser Voraussetzung erwarten wir für das Geschäftsjahr 2022 ein Umsatzwachstum auf 270 bis 300 Mio. € und eine Ergebnis-Marge vor Zinsen und Ertragssteuern (EBIT-Marge) von 8,5 bis 10,5 Prozent vom Umsatz. Beim Free Cashflow erwarten wir eine Bandbreite zwischen einem mittleren negativen einstelligen Millionenbetrag und einem mittleren positiven einstelligen Millionenbetrag. Die 2021 weiter gestiegene Netto-Cash-Reserve sowie der vorhandene Kreditrahmen sind ausreichende finanzielle Reserven für das Unternehmen. Für die Folgejahre erwarten wir weiterhin nachhaltiges, profitables Wachstum und unverändert bis zum Jahr 2025 mindestens einen Konzernumsatz von 400 Mio. € und eine EBIT-Marge von 15 Prozent, mit weiterem Wachstum danach.

2021 war für SÜSS MicroTec ein erfolgreiches, aber auch von harter Arbeit geprägtes Geschäftsjahr. Dafür möchten wir allen Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern danken, die auch im zweiten Jahr der Pandemie mit hohem Einsatz für unsere Kunden gearbeitet haben. Wir danken den Betriebsräten für die konstruktive Zusammenarbeit, die sich ganz besonders bei den aktuellen Herausforderungen als außerordentlich wichtig erweist. Wir danken auch unserem Aufsichtsrat für die Beratung und das in uns gesetzte Vertrauen.

Unser Dank gilt ganz besonders Ihnen, sehr geehrte Aktionärinnen und Aktionäre, und wir hoffen, dass Sie SÜSS MicroTec auch in Zukunft weiter begleiten werden.

Mit freundlichen Grüßen

gezeichnet	gezeichnet	gezeichnet
Dr. Götz M. Bendele	Oliver Albrecht	Dr. Thomas Rohe

BERICHT DES AUFSICHTSRATS

Der Aufsichtsrat hat im Geschäftsjahr 2021 die ihm nach Gesetz, Satzung und Geschäftsordnung obliegenden Aufgaben mit der erforderlichen Sorgfalt wahrgenommen. Der Aufsichtsrat hat die Arbeit des Vorstands sorgfältig und regelmäßig überwacht. Auf den nachfolgenden Seiten berichtet der Aufsichtsrat über seine Tätigkeit im Geschäftsjahr 2021.

Sehr geehrte Leser:innen,

sehr geehrte Aktionär:innen,

2021 ist für SÜSS MicroTec ein erfolgreiches Geschäftsjahr gewesen obwohl es weiterhin unter dem maßgeblichen Einfluss der Covid-19-Pandemie stand. Dem Unternehmen ist es gelungen, einen erheblichen Zuwachs im Auftragseingang um 19,9 % auf ein Rekordniveau von 337,0 Mio. € zu erreichen. Zudem konnte der Umsatz um 4,5 % leicht gesteigert werden. Das Ergebnis vor Zinsen und Ertragsteuern (EBIT) verbesserte sich ebenfalls von 20,4 Mio. € auf 22,6 Mio. €. Die durch die Pandemie verursachten Lieferengpässe bei Zulieferteilen bremsten allerdings das Umsatzwachstum im Unternehmen. Insgesamt hat sich die Arbeit des Aufsichtsrats und seiner Ausschüsse, über die wir hier berichten, erfolgreich an die neuen Rahmenbedingungen angepasst. Die Sitzungen wurden im Jahr 2021 gemäß den strengen Sicherheitsmaßnahmen, die im Unternehmen zum Gesundheitsschutz gehandhabt werden, überwiegend als Video- bzw. Telefonkonferenzen abgehalten.

Wie auch in den vorangegangenen Jahren stand der Aufsichtsratsvorsitzende über die Aufsichtsratssitzungen hinaus mit dem Vorstand in engem Kontakt und informierte sich über die aktuelle Entwicklung der Geschäftslage und die wesentlichen Geschäftsvorfälle. Darüber hinaus stand der Vorsitzende des Prüfungsausschusses im regelmäßigen intensiven Austausch mit dem Vorstand sowie mit den Jahresabschlussprüfern, der BDO AG Wirtschaftsprüfungsgesellschaft mit Sitz in Hamburg, Zweigniederlassung München, zu Themen der Rechnungslegung, der Jahresabschlussprüfung, des internen Kontrollsystems und des Risiko- und Compliance-Managementsystems.

SITZUNGEN UND BERATUNGSSCHWERPUNKTE

Die Geschäftsentwicklung, die Finanzlage und die strategische Ausrichtung von SÜSS MicroTec, seiner Tochtergesellschaften und des Konzerns wurden im Aufsichtsrat regelmäßig erörtert. Der Vorstand unterrichtete den Aufsichtsrat regelmäßig und umfassend über die Unternehmensplanung, die strategische Weichenstellung und die Entwicklung bei Auftragseingang, Umsatz, Liquidität und Ergebnis. Der Aufsichtsrat befasste sich

Dr. David Dean, Aufsichtsratsvorsitzender

darüber hinaus mit der Überwachung des Rechnungslegungsprozesses sowie der Wirksamkeit des internen Kontrollsystems, des Risiko- und Compliance-Managementsystems und der Unabhängigkeit des Abschlussprüfers. Des Weiteren diskutiert der Aufsichtsrat mindestens einmal jährlich den Stand und die Fortentwicklung der Corporate Governance im Unternehmen. Dabei wurde insbesondere über die Einhaltung der Empfehlungen des Deutschen Corporate Governance Kodex diskutiert.

Vorstand und Aufsichtsrat arbeiten eng zusammen, um das Unternehmen erfolgreich weiterzuentwickeln. Der Aufsichtsrat hat den Vorstand im Verlauf des Geschäftsjahrs regelmäßig überwacht und in verschiedenen Bereichen der Unternehmenssteuerung beraten. Die Beratungen zwischen Aufsichtsrat und Vorstand, sei es persönlich vor Ort oder virtuell, verliefen dabei konstruktiv und waren von intensiven und vertrauensvollen Diskussionen geprägt. In alle Entscheidungen von grundlegender Bedeutung für das Unternehmen war der Aufsichtsrat eingebunden. Der Vorstand stimmte die strategische Ausrichtung des Unternehmens mit dem Aufsichtsrat ab und unterrichtete ihn regelmäßig schriftlich und mündlich, zeitnah und umfassend über die Unternehmensplanung, den Gang der Geschäfte sowie die aktuelle Lage der Gesellschaft und des Konzerns und geplante organisatorische und gesellschaftsrechtliche Veränderungen. Bedeutende Geschäftsvorgänge hat der Aufsichtsrat mit dem Vorstand ausführlich erörtert, zu zustimmungspflichtigen Geschäften hat der Aufsichtsrat seine Zustimmung erteilt. Darüber hinaus hat sich der Aufsichtsrat von der Rechtmäßigkeit, Ordnungsgemäßheit und Zweckmäßigkeit des Handelns des Vorstands regelmäßig überzeugt. Soweit erforderlich, erhielt der Aufsichtsrat Einsicht in die relevanten Geschäftsunterlagen der Gesellschaft. Im Geschäftsjahr 2021 fanden insgesamt sieben ordentliche und vier außerordentliche Sitzungen des Aufsichtsrats mit dem Vorstand statt. An allen Sitzungen haben alle amtierenden Mitglieder des Aufsichtsrats teilgenommen.

Die Themenschwerpunkte der Beratungen in den Aufsichtsratssitzungen im Geschäftsjahr waren vielfältig. In der ersten Jahreshälfte 2021 waren die Neubesetzung des Vorstands, die Verabschiedung eines neuen Vorstandsvergütungssystems, sowie der Relaunch der Produktion der UV-Projektionsscanner, wesentlicher Gegenstand der Sitzungen des Aufsichtsrats. Darüber hinaus wurden die Finanzberichte 2020 geprüft und gebilligt und der Ausblick für das Geschäftsjahr 2021 erörtert sowie neue Kundenprojekte mit strategischer Bedeutung besprochen. Mit den Abschlussprüfern fand ein reger Austausch über die Schwerpunkte der Abschlussprüfung 2020 statt. Ein weiterer Themenschwerpunkt im Jahr 2021 war die Harmonisierung der bislang unterschiedlichen SAP-Systeme und die geplante Verschmelzung der SUSS MicroTec Lithography GmbH auf die SUSS MicroTec Photomask Equipment GmbH & Co. KG. Neben regelmäßigen Status Updates zum Geschäftsverlauf, der Entwicklung der Kernkennzahlen und dem Verlauf strategischer Projekte wurden Ziele und Maßnahmen zur Verbesserung der Nachhaltigkeit und der Nachhaltigkeitskommunikation sowie die Weiterentwicklung des Compliance Management Systems eingehend erörtert. Im Rahmen der Neubesetzung des Vorstands wurden der Geschäftsverteilungsplan und die Besetzung verschiedener Gremien in den Tochtergesellschaften festgelegt.

In den Sitzungen in der zweiten Jahreshälfte waren die Weiterentwicklung der Unternehmensstrategie und das vom Vorstand neu aufgesetzte Transformationsprogramm zur Verbesserung der Operational Excellence und Ertragskraft des Unternehmens weitere Schwerpunktthemen. Im Rahmen der strategischen Diskussionen wurden die wettbewerbliche Positionierung und Zukunftsopportunitäten von allen Business Units erörtert. Das Transformationsprogramm wurde aufgelegt, um zukünftig noch schneller und gezielter auf die Bedürfnisse und Wünsche unserer Kunden eingehen zu können, sowie die Ertragskraft und Bilanz des Unternehmens weiter zu stärken. Ein wesentlicher Fokus dieses Programms liegt auf dem Bereich Operations. Die bisher eingesetzte Fertigungsstrategie ist nach Einschätzung des Managements nicht geeignet, das angestrebte Wachstum mit den Margenverbesserungszielen effizient zu unterstützen. Daher ist es wichtig, die Abläufe und Organisation in der Produktion zu optimieren und zu verschlanken sowie die Durchlaufzeiten zu verbessern. Mit dem Ansatz der LEAN-Prinzipien soll eine getaktete Fertigung eingeführt werden. Diese Projekte und der Fortschritt im Jahresverlauf wurden regelmäßig in den Aufsichtsratssitzungen besprochen. Der Aufsichtsrat gab sich in seiner Sitzung im November 2021 nach eingehender Erörterung eine neue Geschäftsordnung, welche dauerhaft auf der Website des Unternehmens unter der Rubrik Corporate Governance zugänglich gemacht wurde. Zudem hat der Aufsichtsrat am 17. Dezember 2021 beschlossen, einen zusätzlichen Ausschuss für Nachhaltigkeit (ESG) zu bilden, der im Januar 2022 erstmals tagte.

Alle Aufsichtsratsmitglieder haben während ihrer Amtszeit an sämtlichen Sitzungen und Beschlüssen teilgenommen:

Aufsichtsrats mitglied	Sit zungs teil nahme	Davon: per sönliche Teil nahme	Davon: virtuelle Teil nahme	Anwe senheit
Dr. David Dean	11	2	9	100 %
Dr. Myriam Jahn	11	2	9	100 %
Dr. Dietmar Meister	11	2	9	100 %
Dr. Bernd Schulte	11	2	9	100 %
Jan Smits	11	2	9	100 %

SITZUNGEN VON PERSONAL- UND PRÜFUNGS-AUSCHUSS

Zum 31. Dezember 2021 bestand der Personalausschuss (Nominierungs- und Vergütungsausschuss) aus den Aufsichtsratsmitgliedern Dr. David Dean (Vorsitzender), Dr. Myriam Jahn und Dr. Bernd Schulte. Dieser Ausschuss befasst sich mit Fragen des Vorstands, insbesondere mit der Vorbereitung der Bestellung von Vorstandsmitgliedern, des Kompetenzprofils, der Vorbereitung der Vorstandsdienstverträge und der Vergütung der Vorstandsmitglieder. Der Ausschuss setzte sich insbesondere zum Jahresanfang 2021 intensiv mit der Nachfolgeregelung für den Vorstandsvorsitz und der Berufung eines Vorstand Operations (COO) sowie einer neuen Vergütungsregelung zur Erfüllung der ARUG II Vorgaben auseinander.

Aufsichtsrats mitglied	Sit zungs teil nahme	Davon: virtuelle Teil nahme	Anwe senheit
Dr. David Dean	12	12	100 %
Dr. Myriam Jahn	12	12	100 %
Dr. Dietmar Meister*	9	9	100 %
Dr. Bernd Schulte	12	12	100 %
Jan Smits*	9	9	100 %

Sitzungen des Personalausschusses

* Herr Dr. Dietmar Meister und Herr Jan Smits sind per 30. September 2021 aus dem Personalsausschuss ausgeschieden.

Der Prüfungsausschuss (Audit Committee) bestand zum 31. Dezember 2021 aus den Aufsichtsratsmitgliedern Dr. Dietmar Meister (Vorsitzender), Dr. David Dean und Jan Smits. Der Prüfungsausschuss befasst sich insbesondere mit Fragen der Rechnungslegung und des Risikomanagementsystems, des internen Kontrollsystems und des Compliance-Management-Systems, der erforderlichen Unabhängigkeit des Abschlussprüfers, der Erteilung des Prüfungsauftrags an den Abschlussprüfer, der Bestimmung von Prüfungsschwerpunkten und der Honorarvereinbarung.

Sitzungen des Prüfungsausschusses

Aufsichtsrats mitglied	Sit zungs teil nahme	Davon: per sönliche Teil nahme	Davon: virtuelle Teil nahme	Anwe senheit
Dr. David Dean	7	1	6	87,5 %
Dr. Dietmar Meister	8	1	8	100 %
Jan Smits	8	1	8	100 %

An der Sitzung am 3. August 2021 haben zusätzlich Frau Dr. Jahn und Herr Dr. Bernd Schulte teilgenommen.

Im Vorfeld der Quartalsmitteilungen bzw. des Halbjahresberichts zum 31. März 2021, zum 30. Juni 2021 sowie zum 30. September 2021 wurden im Prüfungsausschuss die zu veröffentlichenden Berichte detailliert mit dem Vorstand besprochen.

Die Schwerpunktthemen der Sitzungen des Prüfungssauschusses im Jahr 2021 waren im ersten Quartal die Durchsprache und Prüfung der Jahresabschlussberichte der Einzelgesellschaften sowie des Konzernabschlusses zur Vorbereitung der bilanzfeststellenden Aufsichtsratssitzung. Ebenso fand eine Durchsprache der Risikoberichterstattung und Beurteilung der Wirksamkeit und Angemessenheit des Risikomanagements statt. Im zweiten Quartal besprach der Prüfungsausschuss mit dem Vorstand die Etablierung einer Internen Revision und prüfte die Wirksamkeit des internen rechnungslegungs- und nichtrechnungslegungsbezogenen Kontrollsystems. Außerdem besprach der Prüfungsausschuss mit dem Vorstand die Weiterentwicklung der Controllingorganisation, der Prozesse und eingesetzten BI-Tools sowie den Prozess zur Weiterentwicklung einer langfristigen Planung und die geplante Harmonisierung des ERP-Systems und die Verschmelzung von zwei Konzerngesellschaften. Im dritten Quartal informierte sich der Prüfungsausschuss über die Weiterentwicklung des Compliance Management Systems und des Nachhaltigkeitsmanagements. Des Weiteren wurden der Prüfungsumfang und die Prüfungsschwerpunkte für das Geschäftsjahr 2021 festgelegt. Im vierten Quartal besprach der Prüfungsausschuss intensiv die Budgetplanung für das Jahr 2022. Zusätzlich befasste sich der Prüfungsausschuss während des Jahres in mehreren zum Teil außerordentlichen Sitzungen intensiv mit der Ausschreibung der Jahresabschlussprüfung und der Auswahl eines neuen Wirtschaftsprüfers für das Geschäftsjahr 2022. Regelmäßig informierte sich der Prüfungsausschuss über den Geschäftsverlauf durch Prüfung der unterjährigen Managementberichterstattung.

AUS- UND FORTBILDUNG DES AUFSICHTSRATS

Im Oktober 2021 fand, begleitet durch eine externe Anwaltskanzlei, eine Aus- und Fortbildungsmaßnahme des Aufsichtsrats zu rechtlichen Themen mit Bezug zur Aufsichtsratstätigkeit statt. Insbesondere wurde auf gesetzliche Neuerungen wie das Finanzmarktintegritätsgesetz (FISG) und das Zweite Führungspositionen-Gesetz eingegangen. Darüber hinaus erfolgte eine Auffrischung der Verpflichtung zur Meldung von Eigengeschäften von Führungskräften (Directors' Dealings) und ein kurzer Vortrag zum Thema Nachhaltigkeitsberichterstattung. Weitere Inhalte des Workshops waren aktuelle Themen des Deutschen Corporate Governance Kodex (unter anderem Selbstbeurteilung, Nachfolgeplanung, Lebenslauf) sowie das Vergütungssystem und der Vergütungsbericht nach ARUG II.

CORPORATE GOVERNANCE UND ENTSPRECHENSERKLÄRUNG

Der Aufsichtsrat befasste sich im Geschäftsjahr 2021 erneut mit den Inhalten des Deutschen Corporate Governance Kodex 2020 und deren Umsetzung. Im Hinblick auf das Thema Vorstandsvergütung wurde bereits im Juni 2021 eine Ergänzung der bestehenden Entsprechenserklärung vom Dezember 2020 veröffentlicht. Informationen zur Corporate Governance im Unternehmen sind in der Erklärung zur Unternehmensführung (März 2021) und der Entsprechenserklärung (Dezember 2021) veröffentlicht. Ein ausführlicher Bericht zur Höhe und Struktur der Vergütung von Vorstand und Aufsichtsrat ist im Abschnitt Vergütungsbericht des zusammengefassten Lageberichts in diesem Bericht wiedergegeben. Vorstand und Aufsichtsrat beschlossen im Dezember 2021 die aktualisierte jährliche Erklärung zum Deutschen Corporate Governance Kodex gemäß § 161 AktG und machten diese den Aktionären auf der Internetseite der Gesellschaft dauerhaft zugänglich.

Am 29. März 2021, im Rahmen einer ordentlichen Aufsichtsratssitzung, führte der Aufsichtsrat mittels einer Selbstbeurteilung seine Effizienzprüfung entsprechend der Empfehlung des Deutschen Corporate Governance Kodex (DCGK) durch. Dabei wurden keine Defizite im Sinne des DCGK festgestellt. Die Überprüfung der Effizienz der Aufsichtsratstätigkeit findet in regelmäßigen Abständen durch sämtliche Mitglieder unter Hinzuziehung von unternehmensspezifischen Frage- und Checklisten statt. Die Geschäftsordnung des Aufsichtsrats (Stand November 2021) fordert die Effizienzprüfung und die Überprüfung der Wirksamkeit der Ausschüsse im Wege einer Selbstbeurteilung mindestens einmal jährlich.

Gegenstand der Effizienzprüfung sind insbesondere:

die Verfahrensabläufe im Aufsichtsrat
die Qualität der Diskussion
die inhaltliche Ausrichtung des Aufsichtsrats
die Notwendigkeit der Bildung von weiteren Ausschüssen

Es bestanden im Berichtsjahr 2021 unverändert keine Berateroder sonstigen Dienstleistungs- und Werkverträge zwischen Aufsichtsratsmitgliedern und der Gesellschaft. Interessenkonflikte von Vorstands- und Aufsichtsratsmitgliedern, die dem Aufsichtsrat unverzüglich offenzulegen sind, wurden im Geschäftsjahr 2021 nicht gemeldet.

NACHHALTIGKEIT

Nachhaltige Unternehmensführung hat im Jahr 2021 in der breiten Öffentlichkeit und am Kapitalmarkt eine besondere Relevanz eingenommen. Der Vorstand und der Aufsichtsrat haben sich im Geschäftsjahr 2021 mit diesem Thema intensiv befasst und begonnen, die Nachhaltigkeitsstrategie zu überarbeiten und zu erweitern, denn der Unternehmenserfolg hängt nach Überzeugung von Vorstand und Aufsichtsrat nicht nur von dem Erreichen finanzieller Faktoren ab. Insbesondere die Bedürfnisse unserer Mitarbeitenden und Kunden, Umweltbelange sowie die Themen Menschenrechte und Compliance in den Bereichen, in denen wir tätig sind, sind bedeutende Bausteine für unseren unternehmerischen Erfolg. Im Dezember 2021 wurde die Etablierung eines Nachhaltigkeitsausschusses beschlossen. Im April 2022 wird zusätzlich zu der verpflichtenden nichtfinanziellen Erklärung ein umfassender Nachhaltigkeitsbericht zum Geschäftsjahr 2021 veröffentlicht werden.

JAHRES- UND KONZERNABSCHLUSSPRÜFUNG

Die BDO AG Wirtschaftsprüfungsgesellschaft mit Sitz in Hamburg, Zweigniederlassung München, hat den nach den Vorschriften des HGB aufgestellten Jahresabschluss und den Lagebericht der SÜSS MicroTec SE zum 31. Dezember 2021 sowie den Konzernabschluss und Konzernlagebericht zum 31. Dezember 2021 geprüft und jeweils mit dem uneingeschränkten Bestätigungsvermerk versehen. Der Konzernabschluss wurde gemäß § 315e HGB auf der Grundlage der internationalen Rechnungslegungsstandards IFRS, wie sie in der EU anzuwenden sind, aufgestellt. Der Abschlussprüfer hat die Prüfung unter Beachtung der vom Institut der Wirtschaftsprüfer (IDW) festgestellten deutschen Grundsätze ordnungsgemäßer Abschlussprüfung vorgenommen.

Die Prüfungsberichte der BDO AG Wirtschaftsprüfungsgesellschaft mit Sitz in Hamburg, Zweigniederlassung München, lagen allen Mitgliedern des Aufsichtsrats vor und wurden in der Bilanzsitzung des Aufsichtsrats am 29. März 2022 in Gegenwart des Abschlussprüfers umfassend behandelt. Der Abschlussprüfer berichtete über die wesentlichen Ergebnisse seiner Prüfung sowie darüber, dass keine wesentlichen Schwächen des internen Kontrollsystems und des Risikomanagementsystems vorlägen. Insbesondere gab er Erläuterungen zur Vermögens-, Finanz- und Ertragslage der Gesellschaft und des Konzerns ab und stand dem Aufsichtsrat für ergänzende Auskünfte zur Verfügung. Der Abschlussprüfer ging ferner auf Umfang, Schwerpunkte und Kosten der Abschlussprüfung ein. Als besonders bedeutsame Prüffelder (Key-Audit-Matters) sind die Prüfung der Werthaltigkeit des Geschäfts- oder Firmenwerts sowie die Umsatzrealisierung bei Mehrkomponentengeschäften gemäß IFRS 15 zu nennen. Im Jahresabschluss der SÜSS MicroTec SE wurden zudem die Bewertung der Anteile der SUSS MicroTec Inc. sowie der an diese gewährte Ausleihungen geprüft. Außerdem standen eine Bewertung der Angemessenheit und Korrektheit der Segmentberichterstattung, der Vorratsbestände im Umlaufvermögen und der Anlagen für Demonstrationszwecke im Fokus der Abschlussprüfung. Die Cut-off Prüfung für "teilfertiggestellte" Anlagen bzw. Anlagen mit Fehlteilen waren weitere Schwerpunkte der Abschlussprüfung. Im Rahmen der Prüfung des Tochterunternehmens SUSS MicroOptics (SMO) wurden insbesondere die Bewertung des Anlagevermögens sowie dessen Abschreibungsdauer für verschiedene Klassen des Anlagevermögens geprüft.

Der Aufsichtsrat hat in der Bilanzsitzung am 29. März 2022 den Jahresabschluss der Gesellschaft und des Konzerns sowie den mit dem Konzernlagebericht zusammengefassten Lagebericht der SÜSS MicroTec SE jeweils für das Geschäftsjahr 2021 geprüft, gebilligt und somit festgestellt. Der Aufsichtsrat hatte keine Einwände. Die Berichte des Abschlussprüfers hat der Aufsichtsrat nach eingehender Prüfung zustimmend zur Kenntnis genommen.

BESETZUNG VON VORSTAND UND AUFSICHTSRAT

Es gab im abgelaufenen Geschäftsjahr verschiedene Änderungen im Vorstand des Unternehmens. Der Vorstandsvorsitzende Dr. Franz Richter schied zum 30. April 2021 auf eigenen Wunsch aus dem Vorstand der SÜSS MicroTec SE aus. Zum 1.Mai 2021 wurden zwei neue Mitglieder in den Vorstand der SÜSS MicroTec SE berufen. Dr. Götz Bendele wurde als Nachfolger von Dr. Franz Richter zum Vorstandsvorsitzenden (CEO) und Dr. Thomas Rohe als neuer Vorstand Operations (COO) bestellt. Seither besteht der Vorstand nun aus drei Personen.

Im Geschäftsjahr 2021 gab es keine personellen Änderungen im Aufsichtsrat.

DANK

Mein besonderer Dank gilt auch in diesem Jahr den Mitarbeitenden, die in der seit nunmehr etwa zwei Jahren anhaltenden Pandemiesituation mit vollem Einsatz die positive Unternehmensentwicklung vorantreiben. Die sehr gute Auftragseingangsentwicklung, die weitere Steigerung im Umsatz und im Ergebnis sind auf den außerordentlichen Einsatz der Mitarbeitenden in allen Unternehmensbereichen zurückzuführen. Darüber hinaus möchte ich dem Ende April ausgeschiedenen Vorstandsvorsitzenden Dr. Franz Richter meinen Dank für seine langjährige, erfolgreiche Tätigkeit aussprechen. Dem amtierenden Vorstand danke ich für seinen Einsatz und sein Engagement im für den SÜSS-Konzern erfolgreichen Jahr 2021.

Garching, im März 2022

gezeichnet Dr. David Dean Aufsichtsratsvorsitzender

HYBRIDBONDEN

Auf der Überholspur in die Zukunft

Nach einer Testphase von zwölf Jahren sind in Kalifornien die ersten Robotaxis zugelassen worden. Von San Francisco aus können sich Fahrgäste im Silicon Valley tagsüber mit einer maximalen Geschwindigkeit von gut 100 Stundenkilometern transportieren lassen. Nachts fahren die autonomen Taxis mit circa 50 Stundenkilometern. Einzige Auflage der Regulierungsbehörde: Bei kommerziellen Fahrten muss ein "Sicherheitsfahrer" am Steuer sitzen. Bei einer unentgeltlichen Beförderung allerdings gilt der Transport als "Testfahrt" und der Fahrersitz darf leer bleiben. Ein ähnliches Szenario könnte es auch bald in Deutschland geben, in München ist ein erster autonomer Fahrservice geplant.

Was für manche Menschen immer noch nach einem Science-Fiction-Film klingt, ist für Stefan Lutter von SÜSS MicroTec wenig überraschend. Als Leiter des Geschäftsbereichs Bonder beschäftigt er sich täglich mit der Herstellung leistungsstarker Mikrochips. "Möglich ist diese Entwicklung dank gestapelter Mikrochips, die eine extrem hohe Integrationsdichte aufweisen", erklärt er. Während der Fahrt mit dem autonomen Auto werden ständig Live-Daten ausgetauscht. Videokameras, Ultraschall, Radar- und Laserscanner erfassen permanent das Verkehrsgeschehen und tasten im Millisekundentakt die Umgebung rund um das Auto ab. Die Informationen der einzelnen Technologiebausteine werden im Bordcomputer verarbeitet und mit unzähligen dort gespeicherten Szenarien abgeglichen, damit das System auf die jeweilige Situation reagieren kann.

"Ohne diese Systeme bewegt sich auch in einem 'normalen' modernen Auto so gut wie nichts mehr."

Das alles ist möglich, weil höchstintegrierte Systeme aus Mikrochips diese Daten live austauschen können. "Ohne diese Systeme bewegt sich auch in einem 'normalen' modernen Auto so gut wie nichts mehr", so Stefan Lutter weiter. "Sensoren auf Halbleiterbasis sorgen in den Fahrzeugen dafür, dass Abstandswarner, Bremsassistenten und Stauhilfen funktionieren. Sie steuern Klimaanlagen oder Müdigkeitswarner." Zwischen 50 und 100 Sensoren stecken in einem Neuwagen – und ihre Zahl wird weiter steigen.

SÜSS MicroTec ist mittendrin in dieser rasanten Entwicklung, um nicht zu sagen auf der Überholspur. Denn das Unternehmen kann Ausrüstung und Know-how für eines der modernsten Verfahren zur Herstellung dieser höchstintegrierten Systeme anbieten: das Hybrid Bonding oder zu Deutsch Hybridbonden.

Bei diesem Verfahren werden zwei Bondpartner – zum Beispiel zwei Wafer – so miteinander verbunden, dass sich die Leistung der späteren Mikrochips erhöht. Konkret werden dabei in nur einem Prozess sowohl mechanische als auch elektronische Verbindungen zwischen mehreren Chips hergestellt: Man spricht auch von 3D-Integration. Dabei werden entweder Chips mit gleicher Funktionalität zusammengefügt, was ihre Leistungsfähigkeit potenziert, oder aber verschiedene Arten von Chips zu einem multifunktionalen System vereint.

Zwei Verfahren in einem

Das neue Verfahren kombiniert das Direktbonden und das Interdiffusionsbonden miteinander. Das Direktbonden erfolgt bei Niedrigtemperatur und ermöglicht eine hochpräzise Ausrichtung der Bondpartner zueinander. Beim anschließenden Interdiffusionsbonden entsteht dann durch das Tempern, also die Oberflächenbehandlung bei hoher Temperatur, eine hochfeste dauerhafte Verbindung.

100 nm Genauigkeit von weniger als:

Zum Vergleich: Ein menschliches Kopfhaar ist 700-mal so dick.

Zwischen den beiden Bondpartnern liegt eine elektrisch isolierende Schicht, in die Kupferstrukturen eingebettet sind. Diese werden beim Bondprozess mitverbunden und bilden elektrische Kontakte zwischen den Bondpartnern aus. Und genau diese Tatsache macht den Unterschied. Bei herkömmlichen Bondverfahren entsteht die elektrische Verbindung nämlich durch sogenannte "Bumps", das sind Lotkügelchen, die beim Bonden auseinanderfließen und daher nur in einem bestimmten Abstand nebeneinandergesetzt werden können.

"Weil wir beim Hybridbonden anstatt mit Lotkugeln mit eingebetteten Kupferstrukturen arbeiten, entsteht die elektrische Verbindung punktgenau. Dadurch können die elektrischen Kontakte viel dichter beieinanderliegen. Minimale Abstände von deutlich weniger als zehn Mikrometern sind so möglich", sagt Thomas Schmidt, Produktmanager für Bonder bei SÜSS MicroTec. "Das sind mehrere Tausend elektrische Verbindungen pro Quadratmillimeter."

Die Anzahl der Kontakte pro Fläche lässt sich also vervielfachen, was wiederum die Bandbreite für den Datenaustausch erhöht. Viel mehr Informationen pro Zeiteinheit können durch diese Steigerung der Integrationsdichte auf den Chipsystemen ausgetauscht werden.

"Hybridbonden ist eines der modernsten Verbindungsverfahren für höchstintegrierte Systeme."

Großer Datenaustausch bei geringem Energieverbrauch

Natürlich werden diese Chipsysteme nicht nur in autonomen Fahrzeugen eingesetzt. Sie stecken auch in Handys, Laptops, Virtual-Reality-Brillen, digitalen Assistenten und in den Cloud-Speichern selbst, wo die Daten dieser und vieler weiterer Geräte und Systeme abgelegt werden. "Überall dort, wo viel Datenaustausch auf kleiner Fläche stattfinden muss und wenig Energie verbraucht werden soll", erläutert Thomas Schmidt.

"Hybridbonden ist eines der modernsten Verbindungsverfahren für höchstintegrierte Systeme und wir sind in der Lage, unseren Kunden die gesamte Ausrüstung für dieses Verfahren anzubieten", sagt Stefan Lutter. "Damit gehören wir sicher zu den innovativsten Anbietern in der Branche."

Kooperationen dienen der Innovation

Um Innovation geht es bei SÜSS MicroTec auch, wenn das Unternehmen mit namhaften Forschungseinrichtungen kooperiert.

Bereits seit 2010 pflegt SÜSS MicroTec zum Beispiel eine Partnerschaft mit einem der größten europäischen Forschungszentren für Nano- und Mikroelektronik, dem IMEC (Interuniversity Microelectronics Centre). An dessen Standort in Leuven, Belgien, wird an einem gemeinsamen Entwicklungsprogramm gearbeitet. Für den Wafer-to-Wafer-Bondprozess hat SÜSS MicroTec eine Anlage entwickelt, die durch das IMEC für die industrielle Nutzung qualifiziert wurde und eine Genauigkeit von weniger als 100 Nanometern erlaubt. Zum Vergleich: Ein menschliches Kopfhaar ist 700-mal so dick.

Seit September 2021 besteht außerdem eine Entwicklungspartnerschaft mit der Firma SET (Smart Equipment Technology) aus Frankreich, welche das Modul für das Die-to-Wafer-Hybridbond-Verfahren liefert. Ziel dieses Projekts ist es, bereits in diesem Jahr eine integrierte Lösung für alle Verfahrensschritte beim Die-to-Wafer-Hybridbonden zur Verfügung zu stellen, die eine Genauigkeit von weniger als 200 Nanometern erreicht. Statt wie beim Wafer-to-Wafer-Bondprozess ganze Wafer miteinander zu verbinden, werden beim Die-to-Wafer-Hybridbonden einzelne Chips nacheinander auf den Zielwafer gebondet. Das können entweder Chips mit gleicher Funktion sein, zum Beispiel ein 3D-Speicher, oder Chips mit unterschiedlichen Funktionen – aus diesen entsteht dann ein multifunktionales System, das beispielsweise einen Logikchip, einen Speicherchip und einen Funkchip umfasst.

"Wir legen großen Wert darauf, beim Hybridbonden als Komplettanbieter aufzutreten", sagt Götz M. Bendele, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec SE. "Deshalb treiben wir parallel sowohl die Perfektionierung des Wafer-to-Waferals auch des Die-to-Wafer-Hybridbondens voran." Die beiden Partnerschaften betrachet der SÜSS MicroTec-CEO als wichtige Investitionen in die Zukunft.

Smartphone: Dreh- und Bildsensoren in der Kamera basieren zum Beispiel auf Microchipsystemen, die im Hybridbond-Verfahren hergestellt werden.

Ein bisschen SÜSS MicroTec steckt in fast jedem

Breite Know-how-Basis

"In den vergangenen Jahren hat sich das Hybridbonden für die Herstellung von Chip-to-Chip-Kontaktierungen bei dreidimensionalen Anwendungen mit besonders hoher Packungsdichte Schritt für Schritt etabliert", beschreibt Thomas Schmidt die Branchenentwicklung. Das Thema verspreche für die kommenden Jahre große Wachstumschancen im Bereich der Permanent-Bond-Verfahren. "Als Systemspezialist im Anlagenbau für hochpräzise Justage, Reinigung, Oberflächenaktivierung, Messtechnik und Bonden bringen wir genau das richtige Know-how mit, um unsere Kundschaft bei diesen spektakulären Entwicklungen zu begleiten und diese voranzutreiben."

Hier ist Hybridbonden im Spiel

Im Handy sind Bildsensoren für die Kamera oder Drehsensoren, die Drehbewegungen erkennen, enthalten. Auch bei der Herstellung von Bilderkennungssensoren für autonome Fahrzeuge oder von Bewegungssensoren für das Elektronische Stabilitätsprogramm (ESP) wird Hybridbonden eingesetzt. Des Weiteren finden Mikrochipsysteme in digitalen Assistenten, Virtual-Reality-Brillen oder Cloudservern Verwendung.

MIKROOPTIK

Eine Revolution nennt Dr. Reinhard Völkel das, was derzeit in der Automobilbranche stattfindet. Der Geschäftsführer von SUSS MicroOptics bezieht sich dabei nicht darauf, dass Fahrzeuge emissionsfreie Antriebe bekommen. Auch nicht darauf, dass das autonome Fahren unsere Mobilität grundlegend verändert. Sondern auf die neue Dimension, die Licht erreicht hat: "Wir erleben die Mikrooptik-Revolution im Automotive-Bereich. Mikrolinsen-Arrays setzen innovative Standards bei der Beleuchtung von Fahrzeugen und Straßen. Sie erhöhen nicht nur die Verkehrssicherheit, sondern eröffnen auch vielfältige Designoptionen."

Mikrolinsen-Arrays: kleine Lichter ganz groß

"Wir erleben die Mikrooptik-Revolution im Automotive-Bereich."

Bei Mikrolinsen-Arrays (MLAs) handelt es sich um einen Verbund eng aneinandergereihter Mikrolinsen, der unterschiedliche Formen annehmen kann. Sie erlauben es, Licht von Lasern, LEDs oder anderen Lichtquellen präzise umzuformen. Konkret haben Mikrolinsen-Arrays im Gegensatz zu klassischen Optiken, zum Beispiel Kamera-Objektiven oder auch den Spiegeloptiken in derzeit gängigen Scheinwerfern, eine nahezu unbegrenzte Schärfentiefe. Das bedeutet, dass das Licht beziehungsweise Bild unabhängig vom Abstand – also sowohl nahe am Fahrzeug als auch in der Distanz – voll im Fokus ist.

Sehen und gesehen werden

Im Straßenverkehr verbessern MLAs die Sicht und Sichtbarkeit erheblich, besonders nachts. So können sie den Lichtstrahl der Scheinwerfer auf genau den Bereich der Straße lenken, den Fahrerinnen und Fahrer im Blick haben müssen. Dabei irritieren sie bei Regen und Nebel weniger das Auge und blenden auch entgegenkommende Fahrzeuge in deutlich geringerem Ausmaß. Rücklichter lassen sie optisch hervortreten, sodass diese von Weitem zu erkennen sind. Zudem können sie die Verkehrssicherheit erhöhen, indem sie Bilder oder Muster auf die Fahrbahn projizieren, etwa Pfeile als Verlängerung des Blinkers. Radfahrer lassen sich so vor abbiegenden Fahrzeugen warnen. Ebenfalls möglich ist ein Lichtteppich, der zum Beispiel auf geöffnete Türen geparkter Autos aufmerksam macht. Dies bringt ganz neue Kommunikationsmöglichkeiten auf die Straße. Die gut sichtbaren Lichtteppiche und anderen Projektionen entstehen, weil sich in MLAs die Bilder der nebeneinander liegenden Mikroprojektoren überlagern. Die Regel "Je heller das Bild, desto größer der Projektor" wird so außer Kraft gesetzt; der Platzbedarf der MLAs ist äußerst gering. Auf einem Quadratzentimeter drängen sich bei den von SUSS MicroOptics gefertigten MLAs ungefähr 100 Mikrolinsen; die Dicke beträgt lediglich ein paar Millimeter.

Licht in einer neuen Form: Mikrolinsen-Arrays erhöhen nicht nur die Sicherheit im Straßenverkehr, sondern eröffnen auch Raum für kreatives Design.

Die neue Designfreiheit

Folglich lassen sich MLAs leicht in die Karosserie integrieren und können fast überall platziert werden. Dass kein Mindest-Bauraumvolumen mehr eingeplant werden muss, befreit das Fahrzeugund Leuchtendesign von vielen bisherigen Zwängen. "Die kleineren MLA-Module erlauben es, Fahrzeugscheinwerfer und -rückleuchten als schmale, elegante Fahrzeug-Features zu gestalten. Hochwertiges Design wiederum ermöglicht es den Autobauern, sich von der Konkurrenz abzuheben und als attraktive Marke wahrgenommen zu werden", sagt Reinhard Völkel. Auch die Innenbeleuchtung oder die Umfeldbeleuchtung im Einstiegsbereich lassen sich dank MLAs mit Bildern bespielen, zum Beispiel auch solchen, die eindeutig einer Marke zugeordnet sind – eine Art Licht-Logo.

Halbleiterprozesse als Erfolgsrezept

Die Entwicklung von MLAs nahm in den 1980er Jahren ihren Anfang und kombinierte die Photonik mit den zeitsparenden automatisierten Prozessen der Halbleiterindustrie. Wafer-Level-Produktion heißt dabei der Schlüssel zum Erfolg. Vorbild sind Mikrochips, die auf Wafern gleichzeitig in großer Zahl gefertigt werden – Mikrolinsen können so ebenfalls parallel hergestellt werden, statt wie herkömmliche Optiken nacheinander. Das erlaubt es, sie in gleichbleibender Qualität kostengünstig zu reproduzieren.

Bei der Herstellung von MLAs kommt das sogenannte Imprint-Verfahren zum Einsatz, bei dem die Mikrolinsen mithilfe eines Stempels geprägt werden. Auf ein Substrat aus Glas wird eine lichthärtende Polymerschicht aufgetragen. Diese breitet sich gleichmäßig über die gesamte Fläche aus und füllt dabei die Hohlräume des Stempels. So entstehen eine Vielzahl von Linsen, die anschließend bestrahlt werden, um das Polymer auszuhärten.

Pionier moderner Mikrooptik

SUSS MicroOptics hat eine lange und fast einzigartige Erfahrung mit Imprint-Prozessen sowie anderen Fertigungstechnologien für Wafer-Level-Optiken. Das Unternehmen entstand 1999, als sich ein Spin-off des Institute of Microtechnology (IMT) der Schweizer Universität Neuchâtel in einem Joint Venture mit SÜSS MicroTec zusammenfand, um das dort vorhandene Produktionsequipment für die Chipverarbeitung und die weltweiten Kontakte in die Halbleiterindustrie zu nutzen. Seit 2018 hat die SUSS MicroOptics, die inzwischen in zwei Reinräumen fertigt, auch eine Produktionslinie, die auf Fahrzeugbeleuchtungen spezialisiert ist. "2014 hat eine stark steigende Nachfrage nach neuen Lichtkonzepten in der Automobilindustrie eingesetzt", berichtet Dr. Reinhard Völkel. "Seit 2018 sind Lichtteppiche ein fester Bestandteil des Designs einzelner Automobilhersteller. Ende 2021 kamen die ersten Autos mit Mikrolinsen-Scheinwerfern auf die Straße. Die SUSS MicroOptics ist hier gut platziert, um auch zukünftig innovative Beleuchtungskonzepte umzusetzen."

"Unsere Lösungen können einen unmitelbaren Einfluss auf das Leben anderer Menschen haben."

Name: Davide Lomellini

Position im Unternehmen:

Produktspezialist Mikrooptik

Bei SÜSS MicroTec seit:

Ich habe am 1. Juni 2018 bei SUSS MicroOptics angefangen und bin dann im Mai 2021 zu SUSS MicroTec Inc. gewechselt.

So erkläre ich anderen Menschen meinen Job:

In meiner Rolle als Produktspezialist unterstütze ich Unternehmen in Nord- und Südamerika bei der Entwicklung neuer Mikrolinsen-Arrays, die schließlich in Telekommunikations- und Datenkommunikationsprodukte, medizinische Geräte, Beleuchtungslösungen für Fahrzeuge und viele andere Anwendungen integriert werden.

Ich fühle mich als ein Teil des Ganzen, weil:

Teil von SÜSS MicroTec zu sein bedeutet mir sehr viel. Jeden Tag habe ich die Möglichkeit, mit Vertreter:innen der innovativsten Unternehmen und Universitäten zu sprechen, während ich mit unglaublich intelligenten Kolleginnen und Kollegen zusammenarbeite, die alle aus sehr unterschiedlichen geografischen Regionen stammen und ebenso unterschiedliche berufliche Hintergründe mitbringen. Ich kann definitiv sagen, dass ich in den letzten vier Jahren mehr gelernt habe als in meiner gesamten beruflichen Laufbahn zuvor.

Wenn es um Anwendungen der Mikrooptik und Mikrostrukturierung geht, kann die Suche nach der effizientesten Lösung für die Kundin oder den Kunden einen unmittelbaren, positiven Einfluss auf das Leben anderer Menschen haben. Das bedeutet schnellere Kommunikation, sicherere selbstfahrende Systeme, erschwingliche und präzise medizinische "Wearables". All das gibt mir zusätzliche Motivation und Leidenschaft für meine Arbeit hier bei SÜSS MicroTec.

Privat interessiere ich mich für:

Fußball, Baseball und Wandern. Reisen war schon immer meine größte Leidenschaft. Wenn ich ein Land besuche, versuche ich immer, etwas über die lokale Kultur zu lernen. Ich kann es dann kaum erwarten, in ein Flugzeug zu steigen und einen neuen Ort zu entdecken.

SUSS MicroOptics betreibt seit 2018 eine Produktionslinie, die auf Fahrzeugbeleuchtungen spezialisiert ist.

Zu Hause in der Nanowelt

Wenn Yuta Nagai, Geschäftsbereichsleiter Photomask Equipment bei SÜSS MicroTec, erklärt, was bei der Reinigung von Fotomasken passiert, macht er erst einmal die Größenordnung klar: Man stelle sich vor, man wollte vom Weltraum aus einen Kaugummi auf der Erde entfernen. Einen Kaugummi, der teilweise sogar hartnäckig am Boden klebt. Die ganze Reinigungsaktion müsste man mit einem kraftvollen Werkzeug, aber mit äußerster Sorgfalt und Vorsicht durchführen, weil ringsum nichts beschädigt werden dürfte – weder Gebäude, die den Mikrostrukturen auf der Fotomaske entsprechen, noch Felder, die für die Materialschichten der Fotomaske stehen.

Yuta Nagai und sein Team tauchen täglich in eine winzig kleine Miniaturwelt ein, damit ihr Unternehmen der führende Lösungsanbieter für die Fotomaskenbearbeitung bleibt. Das Reinigen von Fotomasken ist eine Nanotechnologie, die sich mit der Entfernung von Partikeln im Nanometerbereich beschäftigt. Ein Nanometer, das ist ein Milliardstel Meter und verhält sich zu einem Meter in etwa wie der Durchmesser der Erde zu dem einer Fünf-Cent-Münze.

Absolut partikelfrei

Das Reinigen der Fotomasken findet im sogenannten Frontend der Mikrochipfertigung statt, also am Anfang der Produktionslinie. Hier werden mithilfe von Fotomasken auf dem blanken Wafer die untersten Schichten der Chips aufgebaut, in denen sich die Transistoren und Schaltkreise befinden.

"Die Transistoren sind die tatsächlich arbeitenden Strukturen eines Chips; diese Schichten sind deshalb das Herzstück eines jeden Mikroprozessors und Speicherchips", erklärt Oliver Brux, Senior Product Manager im Geschäftsbereich Photomask Equipment. Kein Wunder, dass an das Frontend besonders hohe Ansprüche gestellt werden: Die Fertigung erfolgt in extrem sauberer Umgebung, den sogenannten Reinräumen, und zwar in der Höchsten der Reinraumklassen. Dies ist notwendig, weil bereits Partikel, die größer als 10 Nanometer – 10 Milliardstel Meter – sind, den Ausfall eines kompletten Schaltkreises verursachen können.

Zum Aufbau der Transistorschichten werden in mehreren Prozessschritten die Strukturen unterschiedlicher Fotomasken, um den Faktor vier verkleinert, als Mikrostrukturen auf die Wafer übertragen. Je kleiner und feiner diese Mikrostrukturen sind, desto leistungsfähiger ist letztendlich der Chip. Die Unversehrtheit der Fotomasken spielt deshalb eine wichtige Rolle. Damit die einzelne Fotomaske nach jedem Prozess wieder einsatzbereit ist, muss sie regelmäßig gereinigt werden. Komplexe physikalische und chemische Prozesse sorgen dafür, dass anorganische und organische Verunreinigungen und kleinste Partikel im Nanometerbereich restlos entfernt werden.

"Die Transistorschicht ist das Herzstück eines jeden Mikroprozessors und Speicherchips."

"Die technologische Entwicklung der Halbleiterindustrie im Frontend bestimmt die Anforderungen an die Reinigung von Fotomasken."

Standardmäßig setzen Chiphersteller zur Reinigung der Fotomasken einen Säureprozess ein, der jedoch einen Nachteil hat: "Dieser Prozess schwächt die Kontrastschärfe der Strukturen auf der Fotomaske ab und beeinflusst dadurch die optischen Abbildungseigenschaften negativ. Im Klartext bedeutet das, dass sich die Lebenszeit einer Maske signifikant verkürzt", sagt Oliver Brux. Für die Chiphersteller hat das handfeste finanzielle Folgen, denn die Kosten für eine Fotomaske gehen schnell in den höheren sechsstelligen Dollarbereich. Eine von SÜSS MicroTec patentierte Technologie verwendet hingegen das wesentlich schonendere In-situ-UV-Verfahren. Die Strukturen der Fotomaske werden so viel weniger in Mitleidenschaft gezogen, die Kontrastschärfe bleibt länger erhalten.

Modernste Verfahren

Weil die Mikrostrukturen auf den Chips unaufhaltsam kleiner werden, wandeln sich die Verfahren zur Übertragung der Strukturen von der Fotomaske auf den Wafer – und die Reinigungstechnologien müssen sich daran anpassen. "Die technologische Entwicklung der Halbleiterindustrie im Frontend bestimmt die Markt- und Technologieanforderungen für die fortschrittliche Reinigung von Fotomasken", weiß Yuta Nagai. Derzeit fordern die Kunden in der Halbleiterindustrie eine Reinigung von Fotomasken, deren Mikrostrukturen sich, auf ein Viertel reduziert, auf den Chips als sogenannte Fünf-Nanometer-Technologieknoten wiederfinden. Längst geht der Trend hier aber zu drei Nanometern.

"Wir halten konsequent mit den Entwicklungszyklen unserer Kunden Schritt", versichert Yuta Nagai. "Um die Anforderungen sowohl von Standard- als auch von neu entwickelten Waferlithografieprozessen zu erfüllen, integrieren wir bei SÜSS MicroTec zahlreiche innovative Hardware- und Softwaretechnologien in unsere Fotomaskenplattformen. Beispielsweise werden durch den Einsatz von gezielten Megaschallwellen, die während des Reinigungsprozesses gleichzeitig auf die Vorder- und Rückseite einer Fotomaske gerichtet werden, selbst hartnäckigste Partikel aus den Zwischenräumen kleinster Strukturen entfernt. Wir haben das Verfahren so angepasst und verfeinert, dass die vollständige Integrität der Muster erhalten bleibt."

KI sichert Marktführerschaft

Zusätzlich zu diesen Hardware- und Prozessverbesserungen setzt SÜSS MicroTec aber auch auf Künstliche Intelligenz (KI). "Wir haben Algorithmen entwickelt, die in nur wenigen Sekunden das Prozessverhalten auf der Grundlage aktueller Sensor- und Protokolldaten analysieren, aufteilen, anzeigen, berichten und vorhersagen können. Diese Fähigkeiten werden den Produktausstoß und die Ausbeute verbessern, die Betriebszeit der Maschinen erhöhen und eine immense Menge an technischer Analysezeit einsparen", sagt Ben Eynon, Senior Director Business Development Research & Development. Das erste KI-Softwarepaket von SÜSS MicroTec namens "Within Tool Analysis" (WTA) befindet sich derzeit in der Evaluierungsphase bei einigen Produktionskunden. Schon ab Mitte 2022 kann es regulär beim Kauf neuer Anlagen mitbestellt werden. Dank der Integration neuartiger Sensoren in die Anlagen werden künftig laufend Daten gesammelt und analysiert. Das bedeutet, der komplette Prozess kann überprüft und immer weiter verbessert werden.

Es sind die namhaften und allseits bekannten Halbleiterunternehmen, die diese technologische Entwicklung vorantreiben und die ständig wachsende Nachfrage nach immer leistungsfähigeren und kleineren Microchips bedienen. Heute ist der Geschäftsbereich Photomask Equipment von SÜSS MicroTec Marktführer und für die Zukunft gut gerüstet. So Yuta Nagai: "Die Ausrichtung auf die Roadmaps aller führender Halbleiterhersteller weltweit, kombiniert mit unserer neuen und innovativen Hardware sowie Prozess- und KI-Software, sichert unsere Führungsposition auch in Zukunft. Wir sehen den zukünftigen Herausforderungen aller fortschrittlichen Halbleiterprozesse mit Begeisterung und Spannung entgegen."

"Wir halten konsequent mit den Entwicklungszyklen unserer Kunden Schritt."

Fertig machen zur Reinigung:
Die Fotomaske wird gleich in die Prozess-
kammer übergeben. Mithilfe von physikalischen
und nasschemischen Verfahren werden dort
- selbst kleinste Partikel entfernt.

Willkommen in der Matrix

Im Filmklassiker "Matrix" aus dem Jahr 1999 erfährt die Hauptfigur Neo, dass die Welt, in der er zu leben glaubt, lediglich eine Simulation ist. Maschinen haben diese Matrix geschaffen, um die Menschen zu kontrollieren. Wenn bei SÜSS MicroTec von der Matrix gesprochen wird, geht es um ein freundlicheres Szenario. Denn diese Matrix hilft den Menschen dabei, die Maschinen zu kontrollieren, und zwar ganz im Sinne der Kundinnen und Kunden weltweit. Dazu nutzt das Unternehmen neueste Technologien und profitiert sogar in der Coronakrise von diesem vorausschauenden Konzept. Klingt nach einem Film-Plot, ist aber Realität.

"Unsere Maschinen sind Teil eines Produktionsumfelds, in dem einige der komplexesten Geräte ineinandergreifen, die es gibt. Von ihrem störungsfreien Funktionieren hängt also einiges ab. Deshalb brauchen die Anwender umfangreichen professionellen Support", erklärt Rolf Wolf, Senior Vice President Sales, Service und Marketing bei SÜSS MicroTec. Er ist schon 25 Jahre im Unternehmen und kennt die Bedürfnisse seiner Kundschaft. "Das heißt, wir müssen rund um die Uhr und überall auf der Welt ansprechbar sein."

"Der Customer Support ist ein sehr wichtiger Teil des SÜSS MicroTec-Lösungsangebotes."

Das wiederum bedeutet, dass der Customer Support ein sehr wichtiger Teil des SÜSS MicroTec-Lösungsangebotes ist und entscheidend zum Unternehmenserfolg beiträgt. "Wer mit der ersten Maschine und dem umfassenden Support-Paket zufrieden ist, kauft die nächste Maschine wieder bei uns", ist sich Rolf Wolf sicher. Und um das zu gewährleisten, sind die Servicemitarbeiterinnen und -mitarbeiter weltweit in einer Matrix-Struktur organisiert.

Seit 20 Jahren nah an den Kunden

Bereits vor 20 Jahren hat das Unternehmen eine dezentrale Struktur für den Kundenservice aufgebaut. Dazu wurde die SÜSS MicroTec-Welt in sieben Vertriebsregionen aufgeteilt, die alle mit eigenen Sales- und Serviceniederlassungen versehen wurden.

Über 200 Personen im Kundendienst sind inzwischen weltweit dafür verantwortlich, dass die Maschinen betriebsbereit sind, und sorgen folglich für mehr Kundenzufriedenheit. "Jeder Stillstand in der Produktion kann für unsere Kunden nämlich richtig teuer werden", erklärt Sasa Getlicher, Global Director Customer Support. "Das bedeutet zum einen natürlich, dass die Maschinen gut gewartet sein müssen, damit sie möglichst ohne Ausfall verfügbar sind. Wenn es aber trotzdem mal zu einem Problem kommen sollte, ist es wichtig, schnell vor Ort zu sein." Zwischen einer Fehlermeldung und einem Reparatureinsatz darf also nicht viel Zeit vergehen.

"Skill-Level" einheitlich

Zurück zur Matrix, zur Skill-Level-Matrix, die für alle Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter im Service weltweit die fachlichen Anforderungen beschreibt. Die technischen "Skills", also Fähigkeiten, sind global einheitlich festgelegt. Deshalb sind alle Servicetechnikerinnen und -techniker fachlich auf einem gleich hohen Niveau. Gleichzeitig sind in der Matrix aber auch spezielle Fachkenntnisse hinterlegt. Erfordert also eine Reparatur eine besondere Qualifikation, kann über die Matrix schnell die nötige spezielle Expertise gefunden werden.

"Qualität und Geschwindigkeit sind das A und O im Customer Support", weiß Sasa Getlicher. Um den Ansprüchen der gesamten Kundenbasis möglichst vollständig gerecht zu werden, wird nach jedem Einsatz die Kundenzufriedenheit abgefragt und ausgewertet. Falls nötig, werden gezielte Nachbesserungen in bestimmten Bereichen eingeleitet.

Immer das richtige Paket

Jede Kundin und jeder Kunde kann ein maßgeschneidertes Service-Level-Paket auswählen. Zur Auswahl stehen Leistungen in den Bereichen Service, Applications und Training. Neben den klassischen Servicearbeiten an den Maschinen, wie etwa dem Austausch von Ersatzteilen, Reparaturen oder Upgrades, erhalten sie auch telefonische Unterstützung. Auf Wunsch beraten unsere Customer-Support-Teams auch bei komplexen Fragen zur Prozessoptimierung.

"Darüber hinaus ist es aber auch wichtig, dass die Menschen, die mit unseren Maschinen arbeiten, sich selbst möglichst viel Expertise aneignen. Deshalb bieten wir ihnen im Customer Support auch gezielte Schulungen an", erläutert Sasa Getlicher das Trainingsangebot von SÜSS MicroTec.

"Qualität und Geschwindigkeit sind das A und O im Customer Support."

Neben den klassischen Servicearbeiten vor Ort leistet der Customer Support auch Unterstützung per Ferndiagnose. Anhand von Bildern, die eine Datenbrille mit integrierter Kamera auf seinen Bildschirm überträgt, kann er gezielte Handlungsanweisungen aus der Ferne geben.